中古 LAM RESEARCH Inova #293594356 を販売中
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LAM RESEARCH Inova（ラムリサーチイノバ）は、シリコンウェハの製造やマイクロエレクトロニクスデバイスの製造において、精密な加工に使用される先進的なエッチング装置です。これは、利用可能な最新のツールであり、クリプトンと酸素フラックス率で温度制御を備えた唯一のツールであり、比類のない正確さと生産性を提供します。このシステムは、クリプトン、アルゴン、酸素などの超純度ガスを利用して、信じられないほどの正確さと制御を持つシリコンの層をエッチングします。Inovaは、原子炉容器に取り付けられたクローズドループイオン源と、独自の磁気洗浄ユニットを備えた補助トップシェルフによって補完されたIOES （Ion Optical Energy Source）を備えています。安全な作業環境を維持しながら、ナノ粒子や汚染物質を分離するのに役立ちます。IOESツールはまた、短絡プロセスと高深度エッチングプロセスのスループットを向上させ、両方のプロセスが厳密な制御と精度を維持することを保証します。LAM RESEARCH Inovaアセットには、高度な安全メカニズムが装備されており、過剰な加圧、過剰な物質暴露、およびヒューマンエラーの危険性からそのコンポーネントを保護します。バルブをシールして遮断する特殊な金属で設計されており、安全で最適な圧力でモデルを維持します。さらに、フランジは空気漏れを最小限に抑えるように最適化されています。Inova機器はまた、独立したレジストブロックを使用してエッチング深度を正確かつ安全に制御するスキャン抵抗エッチング（SRE）技術を備えています。これは間違いが発生するのを防ぎ、より高い収量を保証するのに役立ちます。SREは、時間の経過とともに非常に一貫したエッチング速度を維持するのに役立ち、完全な一貫性、デバイスの生産のための鍵を提供します。LAM RESEARCH Inovaは、精度と精度に加えて、信頼性と低メンテナンス要件でも有名です。耐食性が高く、長寿命です。このシステムは、過度の洗浄を必要とせず、合併症なしで長年簡単に操作できます。Inovaは非常に強力で汎用性の高いエッチングツールです。高度な安全メカニズム、優れた精度と精度、ユニットの長寿命により、シリコン業界で利用可能な最高のツールの1つです。マイクロエレクトロニクスデバイスの製造やウェーハの製造プロセスに最適なツールです。
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