中古 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9379269 を販売中

LAM RESEARCHデュアルソラエクセルは、エッチング、成膜、表面処理などの様々な処理アプリケーションに使用される先進的なプラズマリアクターです。デュアルSola Excelリアクターは、非常に効率的で費用対効果が高いように設計されています。基板の高速かつ信頼性の高い加工に、堅牢なプロセスチャンバーを提供します。この原子炉は使いやすく、プロセス開発と生産処理のための強力なツールになるさまざまな機能が含まれています。LAM RESEARCHデュアルSola Excelは、高度なオートメーションオプションを提供し、既存のシステムに簡単に統合できます。Atomixジェネレータを搭載しており、正確で再現性のあるプロセスのための正確なガス流量制御を可能にします。また、デュアルUnterberg電源により拡張された汎用性を提供し、最大2つのプロセスチャンバーを柔軟に供給できます。原子炉は非常に構成可能であり、幅広い用途に適応することができます。均一なプラズマ分布を確保するためにマグネトロンとコイル源を備えており、真空容器は高速ポンプダウンと優れた基板洗浄のために設計されています。また、複数のガス供給ラインを組み合わせることができ、プロセス間の切り替えを迅速かつ効率的に行うことができます。デュアルソラエクセルには、統合された緊急停止および自動圧力リリーフバルブなど、さまざまな安全機能があります。また、追加のセキュリティのためにETLおよびCE認定されています。原子炉は、追加の保護のために近くの安全装置と効果的に連結することができます。全体として、LAM RESEARCHデュアルソラエクセルは、高度で費用対効果の高い安全なプラズマリアクターです。その多くの機能は、開発から生産まで、さまざまな処理アプリケーションでの使用に最適です。それは効率的で均一なプラズマ分布を提供し、その安全機能により、あらゆる環境で動作するための信頼性と安全性の高いツールとなります。