中古 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183 を販売中

LAM RESEARCH Dual Sola Excelは、エッチングおよび蒸着プロセス用に設計された高効率で最適化された熱反応ホットウォール炉です。エッチング専用のチャンバーと、蒸着専用のチャンバーを備えた2つのチャンバーリアクターです。チャンバーは、薄膜源を収容する三重の壁に囲まれたセラミックチャンバーで区切られています。これにより、ソースとプロセスチャンバー間の直接接触を排除することで、最大の効率が保証されます。反応室は最高の効率のための非常に反射ステンレス鋼のコンフォーマルシールドによって覆われます。反応室にはプラズマ室の陽極と陰極があり、ドーパントとエッチングガスを導入するための規定があります。プロセス容器は、プロセスの均一性を確保するために周波数制御を備えた磁気攪拌機によって攪拌されます。プロセス船は、プロセスの前後にプロセス船の避難を可能にするガス避難システムを内蔵しています。デュアルSola Excelは、低エッチバックで高い生産レベルの高スループットエッチングおよび成膜プロセス用に設計されています。半導体製造工程における二酸化ケイ素などの薄膜のエッチングや堆積に最適です。このデュアルチャンバーにより、効率的なプロセス管理が可能になり、適切なエッチングまたは蒸着プロセスが維持されます。暖房システムは熱反応の部屋中の均一な温度を保障します。熱炉は、反応室で温度が一貫していることを保証する精密温度制御システムによって囲まれています。遠隔監視も可能で、制御性と利便性に優れています。LAM RESEARCH Dual Sola Excelは、統合されたRFジェネレータを備えており、ジェネレータを使用してさまざまなエッチングおよび蒸着プロセスを実行できます。冷蔵庫は窒素加圧され、-60〜120°Cの温度範囲を可能にします。また、精密な湿度と温度制御による金属蒸発にも使用できます。全体的に、デュアルソラエクセルは、半導体産業におけるエッチングおよび蒸着プロセスのための効率的で正確なサーマルロールリアクターです。これにより、ユーザーはプロセスを正確に監視および制御し、一貫性のある最適なプロセス結果を保証できます。金属蒸着にも適しており、幅広い素材に対応できます。