中古 LAM RESEARCH DSM 9900 #293587928 を販売中

LAM RESEARCH DSM 9900は、シリコン、ポリイミド、ガラス、さらには特定の金属などの様々な材料を処理するために使用される先進的なプラズマエッチング炉です。このユニットは、高品質の部品と製造技術を使用して構築され、高いプラズマ生成能力と再現性、信頼性の高い動作を保証します。LAM RESEARCH 9900は、独自の化学機能を備え、建築やマイクロトポグラフィーで幅広い構造をエッチングすることができます。LAM RESEARCH 9900は、すべての材料の効率的で高速なプラズマエッチングを可能にするために、安全なクローズドループ制御システムと低温冷却を利用した比例エッチング炉の「ソースドレイン」タイプです。このユニットは低周波モードまたは高周波モードで動作するように設計されており、エッチング処理中に柔軟性と精度を提供します。電源、原子炉室、不活性ガス、エッチング種、ドーパントなどのプロセス部品は、すべて独立して制御および最適化されており、正確で再現性のある処理を保証します。DSM 9900リアクターは、多様な形状の異なる基板や材料の処理を可能にする汎用性の高いエッチング装置です。洗練されたガス制御、セラミックポンピングポート、モノリシックなウエハハンドリングコンポーネントを搭載し、最高レベルの安定性と均一性を提供します。また、自動診断機能を備えた高度なモニタリングマシンも提供しており、最適な結果を保証します。LAM RESEARCH DSM 9900原子炉は、シリコン、銅、さらには金などの硬質材料の最高レベルの歩留まりとスループットを必要とするお客様のために開発されました。この産業用グレードのツールは、すべてのプロセス変数を完全に制御および監視し、最高の歩留まりと精度を保証します。アセットの幅広い利用可能な機能と複数の動作モードは、基本から複雑まで、あらゆるエッチングアプリケーションに最適なソリューションです。さらに、このモデルはさまざまな周辺機器と互換性があり、より大きなプロセスラインに統合することができます。