中古 LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel #9394296 を販売中

LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel （C2SS）は、ハイスループット表面処理用途向けに設計された先進的な準大気圧プラズマ炉（APP Reactor）です。C2SSは、独自の二相プラズマ技術プロセスを利用して、2つの別々のプロセスが同時に発生し、それぞれが基板に異なる利点を提供します。C2SS原子炉には、プラズマシステムを最適化したプロセス制御を可能にする二相プラズマ発生器があります。プロセスの第1段階は、プロセス・ガスから荷電粒子雲を生成するために利用される低圧RFベースのプラズマです。その後、この雲は第二相の高圧DBDプラズマで使用されます。高圧フェーズは、荷電粒子雲の密度を高めるために作用し、その結果、より良い接触と治療の深さを改善します。C2SS原子炉は、1〜10リットルの調整可能なプロセス室の容積を持っています。小型部品から200mm×300mm以上の大型部品まで、幅広い基板加工が可能です。また、デュアルインラインフィルターシステムを備えており、不要な粒子を除去して原子炉のピーク効率を維持することができます。C2SS炉は、プラスチック、金属、セラミックス、充填プラスチック、複合材料など、幅広い材料を処理することができます。このプロセスは、洗浄、エッチング、表面活性化および修正などの表面処理アプリケーションに使用できます。また、バリアや帯電防止コーティングなどの成膜プロセスにも使用できます。C2SS炉は生産ラインに組み込むことができ、より費用対効果の高い運用が可能です。C2SSは信頼性が高く、メンテナンスが容易な生産ツールでもあります。直感的なユーザーインターフェイスは、迅速なセットアップと簡単なトラブルシューティングを可能にし、内蔵の安全システムは、全体的な安全操作を提供します。要するに、LAM RESEARCH C2SSは、独自の二相プラズマ技術プロセスを備えた最先端の大気圧プラズマ炉です。幅広いプロセスオプション、調節可能なチャンバー容積およびフィルタリングシステム、および信頼性とメンテナンスが容易なC2SSは、表面処理および成膜アプリケーションに理想的な高スループットソリューションです。