中古 LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339 を販売中

LAM RESEARCH C3 Ice modは、薄膜および金属材料の精密エッチングが可能な高効率、低コストのプラズマエッチング炉です。半導体やその他の電子機器の製造に使用するために設計された、コンパクトで費用対効果の高い機器です。C3 Ice modの電源は、最大650°Cの高温プラズマを生成することができ、高温アニーリング、精密金属エッチング、陽極膜の堆積に最適です。このシステムは、モジュラーインターフェースコントローラ（MIC）、メインフレーム、モジュラー電源（MPS）、イオンソース制御ユニット（ISC）の4つのコンポーネントで構成されています。MICは、ユニットの全体的な制御と自動化を担当する中央処理ユニットです。プロセス温度、圧力、ガス流量、圧力、電源調整など、すべての機械パラメータを制御および監視する責任があります。メインフレームには、チャンバー部品、真空ポンプ、冷却サブシステム、安全システム、イオンビーム源などが含まれています。MPSは、エッチング処理のための低電圧、高温プラズマの生成を担当しています。ISCユニットは、高電流プラズマビームの生成と基板の冷却を担当しています。LAM RESEARCH C3 Ice modには2つの真空チャンバーが装備されており、最大6つの基板を収容できます。このツールは、酸素、アルゴン、窒素、塩素などのさまざまなエッチガス化学と互換性があります。1ミクロンの精度で機能のエッチング深度と深さを制御することができます。C3 Ice Modには、エッチングガスフローを正確に制御するための自動ガス供給資産があります。また、圧力、温度、イオンビーム加速度などのプラズマパラメータを正確に制御するための調整可能なRFジェネレータを備えています。LAM RESEARCH C3 Ice modには、光放射分光法や質量分析法などのさまざまな診断機器も装備されています。これにより、エッチング速度、エッチング深さ、基板厚、フィルム接着、電気特性、およびその他のプロセスパラメータを正確に測定できます。C3 Ice modは高効率で費用対効果が高く、ハイエンド半導体デバイスの製造において優れた再現性と精度を提供します。