中古 LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod #293646584 を販売中
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LAM RESEARCH C3 Altus Ice Modは、基板上の薄膜の堆積を容易にするために設計されたプラズマ炉です。高度な無線周波数（RF）プラズマ発生器と、薄膜形成に適した環境を実現する強力な真空システムを採用した画期的な装置です。窒化ケイ素、二酸化ケイ素などの成膜に適しています。C3 Altus Ice Modは、強力なインバータベースの電源を使用してプロセスガスを活性化します。このガスは、ガス制御ユニットを介して導入され、それを原子化して反応させ、プラズマも生成されます。このプラズマは堆積室に運ばれ、基板に到着する前にプラズマ優位領域を通過します。最適な蒸着を確保するために、プラズマガスを急速にパルスし、基板表面全体に均一な分布を可能にします。さらに、Altus ICE Modは、最適な再スパッタリングを可能にし、材料沈着率を高め、表面の均一性を高める0-4000Hzの動作範囲を提供します。この機能は、堆積プロセス全体のコストを削減するのに役立ちます。Altus ICE Modはデュアルチャンバー光学系も備えており、ユーザーは堆積とプラズマプロセスの両方を監視することができます。これにより、沈殿プロセス中に発生する可能性のある問題を特定し、適切な是正措置を講じることができます。さらに、蒸着チャンバ内の圧力を監視するポンプ工具も内蔵しており、プロセスが最適なマークを満たしていることを確認するのに役立ちます。全体として、LAM RESEARCH C3 Altus Ice Modは、最新のRFプラズマジェネレータ技術を備えた高度なプラズマリアクター資産であり、さまざまな基板に高品質の薄膜を効果的に堆積させることができます。デュアルチャンバーオプティクスに加えて、高動作速度と電力を提供し、最適な材料蒸着と最適化された圧力のポンプ制御を実現します。
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