中古 LAM RESEARCH Altus #293814196 を販売中

LAM RESEARCH Altusは、エッチングおよび蒸着プロセスで最適な性能を得るために設計された革新的に設計された原子炉です。これは、高められた温度と圧力制御を提供し、正確な材料沈着と基板の均一性を提供します。さらに、その汎用性の高いテクノロジープラットフォームは、高度なエッチング技術と蒸着技術の統合を可能にし、特定のプロセスに最適な組み合わせを提供します。Altusは、多くの異なるエッチングと堆積レシピをサポートすることができるコンパクトで完全に囲まれた原子炉を備えています。乱流のないコーディング、内部で生成された圧力、および高精度と再現性による優れたエッチングと蒸着速度を提供します。この原子炉は、ロボットに優しい密閉されたキャビネットと組み込みのプロセス制御機能で設計されており、導入と統合が簡単になります。LAM RESEARCH Altusは、ドライエッチング、ウェットエッチング、および原子層の堆積（ALD）を実行するためにセットアップすることができる3つの独立したチャンバーを備えた、汎用性と信頼性の高いです。チャンバー設計により、プロセスの柔軟性が向上し、再加工なしで複数の異なる材料を堆積させることができます。適応処理ソフトウェアは、事前に定義された処理アルゴリズムと独自の処理アルゴリズムの両方を実行し、生産性を向上させ、サイクルタイムを短縮し、プロセスのパフォーマンスを向上させます。原子炉制御システムは、圧力驚きに耐性があり、均一で再現性のあるプロセスを提供する高精度の温度および圧力制御を備えています。さらに、Altusは集中化されたプロセスデータベースを使用して、操作中に記録された情報を管理し、レシピを保存します。統合ソフトウェアは、重要なプロセスイベントのために電子メールを介してオペレータに直接システムアラームを送信するように構成することができます。LAM RESEARCH Altusは、エッチングおよび蒸着プロセスにおいて最高の性能、精度、再現性を提供するように設計された先進的なエッチング・アンド・デポジット炉です。汎用性の高いプロセス制御システムは、優れた再現性を提供し、プロセスの再現性の必要性を排除します。レシピ管理のための統合されたプロセスデータベースと組み込みのプロセス制御機能により、Altusは生産性を向上させて最大の効率を提供します。