中古 LAM RESEARCH Altus Max #293745140 を販売中
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LAM RESEARCH Altus Max Reactorは、先進的なデバイスおよび基板処理アプリケーションにおける先端材料の使用を効果的に最適化することを可能にする、業界をリードする熱処理ツールです。Altus Max Reactorは、最高処理温度1750°Cの高度な高温装置です。このシステムは、特定の処理要件を満たすようにプログラムすることができる急速な加熱、冷却、および/または加熱/冷却サイクルが可能です。統合されたクローズドループ制御およびモニタリングユニットは、正確な温度制御とプロセス安定性を提供します。リアルタイム診断やエクスカーション防止などの高度な機能は、原子炉の性能を最適化するのに役立ちます。LAM RESEARCH Altus Max Reactorはまた、ガス/材料交換と人員アクセスの効率的な耐荷重、アンロード、および処理を可能にするオープンな封じ込め設計を備えています。また、排気ガスを外部の排気工具に直接ルーティングすることで、メンテナンスやクリーニングの要件を低減します。この原子炉の堅牢な設計により、厳しい動作環境と長期的な信頼性の高い動作に耐えることができます。アセットには複数のゾーン機能があり、異なるタイプの材料を同時に処理する機能を提供します。さらに、スマートな設計とモジュール構造により、必要に応じて簡単な設置とフィールド修復が可能です。Altus Max Reactorは包括的な安全機能を備えており、最も要求の厳しい熱処理でも安全で信頼性の高い方法で動作できます。これらの機能には、統合された電源監視、ガス欠陥モニタ、ソフトウェア制御のプロセスガードおよびアラーム、ハイエンド熱電対、酸素センサ、冗長温度コントローラなどの安全サブシステム全体が含まれます。結論として、LAM RESEARCH Altus Max Reactorは信頼性が高く、安全で高度な熱処理ソリューションであり、デバイスメーカーは要求の厳しいアプリケーションで高度な材料を効果的に利用できます。この高温モデルにより、製造メーカーは優れたプロセス効率で高品質で信頼性の高い製品を提供することができます。
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