中古 LAM RESEARCH Altus Max #293625737 を販売中

LAM RESEARCH Altus Maxは、幅広い科学および産業用途をサポートするように設計された先進的で信頼性の高い誘導結合プラズマ（ICP）原子炉装置です。高度な技術とカスタマイズ可能なオプションを備え、エッチング、成膜、薄膜成長、パッシベーション、光学薄膜蒸着、化学蒸着までのプロセスに使用できます。Altus Maxは、ICP原子炉のeChamber™、革命的で不可欠なコンポーネントを備えています。この特許取得済みの設計により、ユーザーは3つの均一なパワーカーブのいずれかから選択でき、プラズマプロセスへの正確な制御を可能にします。チャンバーは、高い発電レベルでも、プロセスの優れた電気分離を持っており、所望のプラズマパラメータの円滑かつ安定したメンテナンスのための実績のあるガス流量設計を備えています。利用できる多数のプロセスガスによって、プロセスはあらゆる適用の条件に容易にカスタマイズすることができます。LAM RESEARCH Altus Maxには、ユニークなガス注入システムも含まれています。この特許取得済みの設計により、1回の実行で複数のガスを同時に制御でき、スループットを最適化しながらプラズマパラメータを正確にチューニングできます。圧力制御も提供され、プラズマの正確な変調を保証します。Altus Maxには、高度なモニターと制御機能が装備されています。タッチスクリーンディスプレイは、すべてのプロセスパラメータに簡単にアクセスでき、統合されたデータロギングとレシピ管理ソフトウェアにより、プロセス設定とパラメータを正確に制御できます。また、ガスアナライザと質量分析計の機能も備えており、プロセス環境の正確な制御と分析が可能です。LAM RESEARCH Altus Maxは、高度で柔軟で信頼性の高いICP原子炉機械です。特許取得済みのeChamber™およびガス注入システムにより、精密で再現性のあるプロセス制御を求める科学者やエンジニアに幅広いオプションを提供します。統合されたモニターおよび制御機能および複数のガスの選択によって、それは容易に最も困難な適用を扱うことができます。