中古 LAM RESEARCH Altus Max #293610297 を販売中

LAM RESEARCH Altus Maxは、高度なロジックアプリケーション用の高度なファブ変換用に設計された化学蒸着（CVD）炉です。高度なプロセス制御とオートメーション機能により、Altus Maxは高誘電率（high-k）と低誘電率（low-k）の両方の材料を処理できます。LAM RESEARCH Altus MaxにはFastEx Advanced Edge™機能が組み込まれており、高温およびより効率的な成膜速度などの高度なプロセス制御機能により、優れた品質と再現性を提供します。この機能は、歩留まりとデバイスの信頼性を最大化しながら、スケールとスループットを高め、超高性能材料を提供するのに役立ちます。Altus Maxは、人間工学に基づいたウェーハジャミングステーションと連続運転用のエアロックシステムを備えた自動ウェーハローディングとアンロードも備えています。軽量で高精度なロボットアームは、効率的な自動材料搬送を提供します。LAM RESEARCH Altus Maxは、プロセスウィンドウ管理（PWM™）ソフトウェアでも柔軟性を提供します。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはプロセスパラメータをカスタマイズして監視することができます。それは沈着の均等性および汚染の保護の制御のための選択の範囲を提供します。Altus Maxは、生産性の高いECPプロセスと大量並列CVDテクノロジーの両方を備えたウェーハスループットと使用率を最大化します。独自のプロセス柔軟性を備えたLAM RESEARCH Altus Maxは、優れたファブ変換機能を提供しながら、究極のプロセス拡張性を提供します。さらに、Altus Maxは優れた安全機能を提供し、すべての世界的な安全基準を満たすように設計されています。オペレータインターフェイスは、プロセスパラメータを管理するのに役立つ簡単なナビゲーションと直感的なナビゲーションのために設計されています。LAM RESEARCH Altus Maxは業界をリードする原子炉で、これまでにないレベルのスループット、パフォーマンス、信頼性を提供します。高度なプロセス制御と自動化された機能により、Altus Maxは高度な自動化と制御を提供し、最高レベルのパフォーマンス、スケール、スループットを実現します。