中古 LAM RESEARCH 839-019090-632 #293662521 を販売中

LAM RESEARCH 839-019090-632は、半導体産業で使用されるプラズマエッチング炉の一種です。これは、内部に2つの電極、下部電極と上部電極を持つ円筒チャンバーで構成され、小さなギャップで区切られています。チャンバーは、通常アルゴン、酸素、窒素などのガス混合物で満たされ、低圧に避難します。2つの電極の間にRF電力が印加され、2つの間にプラズマが発生します。これによって作成されたプラズマは、チャンバーの壁を爆撃し、原子のエッチングと沈着を引き起こし、最終的にチャンバー内の材料の層と構造を変更します。このシステムは、300mmから150mmまでのさまざまなウェーハサイズを処理する機能を備えており、幅広いプロセスオプションを提供します。原子炉には、2つのロードロック、1つのチラーと150 mmから300 mmの機能が付属しています。それは高周波RFの発電機および電源、高度の診断、高度の電源制御およびいろいろなセンサーが装備されています。高度な診断は、プラズマパラメータを正確に制御できるツールを提供します。リアクターは性能と信頼性を念頭に置いて設計されており、さまざまなユーザー要件に合わせてカスタマイズできます。チャンバーはステンレス製で、最高の安全基準を念頭に設計されています。電極は、タングステンアルミネートと弾力性からプラズマ砲撃に構築されています。この原子炉は高度なプロセス制御も備えているため、自己調整して最適化し、プロセスパラメータのタイトなウィンドウを再現することができます。839-019090-632は、R&Dと生産エッチングの両方に最適な汎用性と強力な原子炉です。その高度なプロセス制御により、再現可能なプロセス、プラズマパラメータの正確な制御、そして最終的には高い収率が保証されます。また、最先端の安全および品質基準と互換性があり、さまざまなアプリケーションで信頼性とパフォーマンスを保証します。