中古 KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L #293654718 を販売中

KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006Lは、研究および生産に使用するために設計された高度な化学蒸着（CVD）原子炉です。多機能で高効率な装置で、様々な成膜プロセスや材料に適しています。それは10-2から10-5 torrの典型的な真空圧力が付いている横の長方形の水晶反作用の管を特色にします。システムは2つのセクションに分かれています。1つの真空の部屋および1つのガスの配分の単位。真空チャンバーは、耐久性のある密閉石英ガラス壁で作られている反応管を収容します。これにより、実験中に監視するための高水準の光伝送が保証されます。反応管は非常にエネルギー効率が良いように設計され、単位がより高いスループットを達成できるように壁の絶縁材が付いている大きい有効な区域があります。ガス分配ユニットには、CVDプロセス中に必要な前駆体セットを正確に配信するために、ガス流量バルブとレギュレータのセットが装備されています。また、四極質量分析計を備えており、原子炉に導入されたガスをリアルタイムで監視することができます。原子炉はさらにマイクロコントローラといくつかの温度および圧力センサーとモニターで自動化され、反応チューブ内の温度と圧力レベルを調整します。KVCVD-2006Lは、他のCVD蒸着システムに比べていくつかのユニークな利点があります。操作が容易で、メンテナンスが最小限で、各種成膜プロセスに対応できます。また、四極質量分析計の高速反応精度を利用することで、CVDプロセスで使用されるガスの組成を正確に監視することができます。さらに、原子炉室は、堆積プロセスの均一性と再現性を向上させるために絶縁されています。全体として、KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006Lは先進的なCVD炉であり、様々な蒸着技術や材料に適しています。この機械の大きな反応チューブエリアは、高速で効率的な処理時間を可能にしますが、四極質量分析計とそれに付随するセンサーは、堆積した材料を正確に制御するための前駆体の正確な監視を提供します。原子炉はまた、簡単な操作と最小限のメンテナンスを提供し、CVD堆積のための理想的なセットアップです。