中古 INTEVAC Vertex Spectra Y09 #293626646 を販売中

INTEVAC Vertex Spectra Y09は、銅、銅合金、銅コバルト合金などの様々な材料の堆積に使用される高出力の電子ビームHF-CVD（ホットフィラメントケミカル蒸着）原子炉です。この原子炉は、2つの独立して同時に動作する電子ビームガンを使用しており、新規に形成されたプラズマ源と組み合わされている。これらの機能により、高いスループットで精密に設計された半導体フィルムの蒸着が可能になり、蒸着速度の変動が最小限に抑えられます。この原子炉は、真空チャンバで生成された3つの独立した加熱源を利用して、プロセスの柔軟性の究極のレベルを提供します。あらかじめ形成されたプラズマ源は、均一で正確に設計されたフィルムの成膜を可能にする高出力、安定した放電を提供し、表面粗さを最小限に抑えます。これにより、成膜前の基板表面の酸化を可能にするため、フィルムの成長率と化学的ポテンシャルを制御することができます。この電子ビームガンは最大37kWの電力を供給することができ、高いアスペクト比の膜を高い蒸着速度で蒸着するための高い放出電流密度を備えています。これにより、欠陥密度が極めて低く、基層にしっかりと密着した高精細なフィルムが得られます。また、電子ビームガンは高い制御性を備えており、プロセスパラメータを設定する際の柔軟性を最大限に発揮します。加工可能な層の厚さは10 nmから1 μ mの範囲で、粒径は1 μ mです。Vertex Spectra Y09のチャンバー寸法は直径500mm×高さ580mmで、内部の体積雰囲気は典型的な5mTorrです。これは、高速真空ポンプ速度と改善されたチャンバー圧力安定性を提供する高圧3400 Lポンプによって駆動されます。ガスインレットアクセスはチャンバー上部にあり、ウェハローディング用のリニアトンネルウェハトランスファー機構があります。INTEVAC Vertex Spectra Y09は、高度でユーザーフレンドリーなPCベースのソフトウェアで、自動化されたパラメータ設定を提供し、簡単なプロセス設定を実現します。また、大容量データストレージ用の大容量メモリを提供しているため、過去のプロセスのパフォーマンスを容易に監視および分析できます。このデバイスは、CEおよびISO 13485認証を含む標準の安全および環境規制にも準拠しています。Vertex Spectra Y09は、研究および製造アプリケーションの両方に柔軟で高品質の蒸着プロセスを提供します。