中古 INTEVAC Matrix #9288407 を販売中

INTEVAC Matrixは、半導体ウェーハや先端材料の加工に特化した高効率で費用対効果の高い原子炉です。基板表面積が大きく、温度の均一性が向上し、プロセスの再現性が高まります。不活性な真空環境では、高温・高速での動作が可能であり、その結果、原子炉は手動溶剤ベースの処理システムよりもはるかに短いサイクル時間で動作することができます。その中心にあるMatrixは、専用のオールクォーツデュアル真空チャンバー装置です。チャンバーシステムは、超高真空（UHV）プライマリチャンバーと反応性セカンダリチャンバーを組み合わせています。この2チャンバ技術により、ウェーハ加工の高度な制御が可能になります。一次チャンバは物理蒸着およびエッチングに使用され、二次チャンバには高kおよび低k誘電体などの材料の熱処理に使用できるRF誘導加熱ユニットが装備されています。このデュアルチャンバーアーキテクチャは、トランスファーマシンの必要性を排除し、生産性を向上させ、運用コストを削減します。INTEVAC Matrixは安全性を考慮して設計されています。すべての動作条件とアラームレコードは、オンボードテレメトリツールを使用してリモートで監視できます。原子炉には、有害物質への曝露リスクを低減するように設計されたインターロックと自己診断システムも装備されています。ハードウェア面では、現場のエンドポイント監視資産、自動化されたウェーハ監視、急速冷却モデル、強化されたRF誘導加熱装置、改良された圧力制御システム、完全に統合された自動ローディングユニットなどの機能を備えています。これらのすべての機能が組み合わされ、信頼性が高くユーザーフレンドリーなマシンが提供され、プロセスサイクルが簡素化され、トータルプロセス時間が短縮されます。INTEVAC Matrixは非常に汎用性が高く、さまざまな高度なプロセスレシピと互換性があります。熱酸化、窒化物成分、スパッタエッチング、フォトリソグラフィなど幅広いプロセス化学が可能です。全体として、マトリックスは半導体やその他の高度な材料処理に最適な高度で効率的な原子炉です。非常に効率的な設計により、時間の経過とともにプロセスの再現性に最適です。INTEVAC Matrixは、ユーザーに包括的な機能と機能を提供しながら、安全かつ確実に動作するように設計されています。優れたプロセス再現性と再現性を要求するラボや生産設備に最適です。