中古 INTEVAC LithoPrime #9181440 を販売中

INTEVAC LithoPrimeは、集積回路の製造にかかる時間を大幅に短縮し、半導体製造効率を飛躍的に向上させるために設計された先進的な原子炉です。この技術は、複雑なデバイスを生成するための複数のプロセス手順の必要性を排除することを目的として開発されました。LithoPrime原子炉は、プロセス環境の正確な制御を可能にする統合拡張チャンバーを備えた円筒形の設計を採用しています。これは冷却されたガス源および速度制御システムの使用によって達成される。この原子炉には、光学検査システムと高度な温度および湿度センサーが装備されており、プロセス全体にわたって処理パラメータが正確に制御されていることを確認します。スループットを最適化するために、反応チャンバ内の圧力を正確に制御できます。INTEVAC LithoPrimeは、化学蒸着（CVD）、スパッタリング、反応イオンエッチング（RIE）などの様々な蒸着技術との互換性を目指して設計されています。シリコンベースの材料から不揮発性メモリ、厚膜半導体、グラフェンまで幅広い材料に適した汎用性の高い加工プラットフォームです。LithoPrimeは、比類のない処理能力に加えて、高効率のガス注入流量と正確な温度制御も提供します。原子炉の高速冷却システムにより処理時間が大幅に短縮され、加熱されたチャンバーは前駆ガスを効率的に使用することができます。また、より大きな基板加工用途のための基板サイズの拡大や、複雑な構造を持つデバイスの効率的な形成を可能にする層ごとの製造プロセスを備えています。INTEVAC LithoPrimeの可能性は膨大であり、その使用はすでに半導体生産の風景を変えています。この高度な原子炉は、製造メーカーに歩留まりの向上、スループットの向上、プロセス制御の向上をもたらします。生産能力を高めたいメーカーに最適なソリューションです。