中古 GENUS 8712 DCS #9203993 を販売中
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ID: 9203993
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1989
LPCVD Systems, 6"
Process: Wsix
Robot
Main system
RF Generator
Freme box
Part box 1
Pump rack
NESLAB Chiller
Gas cabinet 1
Gas cabinet 2
Throttle valve: MKS
Computer
Heter controller
Temperature controller
Signal tower
Convectron gauge
Keyboard
Vacuum gauge
Gas line pipe
Cable
Gage:
Loader 1/2:
GRANVILLE PHILIPS / MKS
Transfer chamber: MKS / GRANVILLE PHILIPS
Utility specifications:
CDA (Air)
PN2
Vaccum
Sub module:
Gas cabinet: HANKUK ATTO SEC-Z512MGX
Dry pump 1: EDWARD QDP 80
Dry pump 2: EDWARD QDP 40
Buster pump: EDWARD
Gas scrubber 1: UNISEM UN200AA-HW
Gas scrubber 2: UNISEM UN200AA-HW
Gas flow control:
Unit Maker Model Range
O2 TAYLAN FC-261 10 SLM
N2 TAYLAN FC-260 6 SLM
N3 TAYLAN FC-261 7 SLM
N4 TAYLAN FC-262 8 SLM
N5 TAYLAN FC-263 9 SLM
N2 TAYLAN FC-260 20 SLM
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase
1989 vintage.
GENUS 8712 DCSは、工業用および特殊化学生産用の2段階の原子炉装置です。この原子炉は、反応ゾーンの均一な加熱を提供する3ゾーン加熱システムを提供し、製造プロセスにおける温度関連の問題のリスクを低減します。原子炉設計は、より大きな沸騰ポットを提供するので、より少ない反射が必要であり、より大きな収量を達成することができます。原子炉内部の材料の循環と相まって、ジャケットデザインは、局所的なヒートスポットによる過熱と歩留まりの混乱を防ぎます。8712 DCSは、最大40kWの電力定格を備えたコイル状のバッフル磁気セパレータを備えた二重壁ジャケットリアクターです。リアクタの温度は、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）によって監視および制御されます。この原子炉は、安全で連続的な動作を確保するために、単一の可変速度コンバインドスピードモーターとオーバースピードとソフトストップ保護を利用しています。この原子炉の中心の特徴はSS316L構造を含んでいます、 腐食、取り外し可能な乾燥したフィルムのコーティングへの優秀な強さそして抵抗を提供するかどれが、 反応混合が内部表面に付着するか、または傷つくことを防ぐかどれが、 可変速度結合された速度モーターは、滑らかな操作を提供し、最適な歩留まりと反応ミックスの均一な加熱を提供するダブルウォール設計をもたらします。この原子炉は、超過速度とソフトストップ保護ユニットを備えており、高周波操作から保護し、敏感な計装部品の摩耗を軽減します。GENUS 8712 DCSリアクターは、反応性と選択性の最適なバランスを提供し、広範囲の触媒プレートと材料で使用することができ、さまざまな反応を行うことができます。また、反応速度とリアクタント送り速度の効率的な制御を可能にする速度制御を提供しています。この機械は、生産プロセスの人件費と人力要件を削減し、安全性、効率、生産性を向上させるように設計されています。全体として、8712 DCSリアクターは、工業用および特殊製品生産のための幅広い能力を備えた優れた性能、生産量の増加、および一貫した品質を提供します。
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