中古 CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1201 CXは、スパッタエッチング、半導体加工、その他の表面処理など、さまざまな産業用途向けに設計された多機能炉です。ステンレス製の円筒形ボディを備えた中規模から大規模な原子炉で、円錐形の底部と傾斜屋根を備えており、原子炉に乱流に対する高い安定性と保護を与えています。また、プラズマ場の優れた均一性を提供し、表面全体に均一なエッチングを保証します。CANON I-1201 CXは通常、超高真空環境で使用されますが、低真空設定でも操作できます。これは、プロセス要件に応じて電力を調整する高度なプロセス制御機能を備えたパスされた5。5 kWのRF電源を備えています。また、5。5 kWのDCバイアス供給が付属しており、堆積率を下げるのに役立ちます。ANELVA I-1201 CXの他の機能には、石英窓、プラズマ表示ポート、シャッター制御プロセスガス入口などがあり、プロセス制御と安定性に優れ、繰り返し安定した表面処理性能を実現します。また、上部電極をプラズマから保護するアノードシールドを備えており、下部電極からの広い間隔を確保してプロセス制御を改善します。CX I-1201高度な電力/ガス制御システムを備えており、オペレータはプロセス結果を最適化するためにガス/RF電力比を正確に制御することができます。これには、障害検出、プロセス監視、安全過負荷、およびその他の関連機能などの進化的機能を備えた高度な診断機能が含まれています。高度な診断機能により、オペレータはプロセスパラメータを最適化して、より高い効率と製品品質を向上させることができます。CANON/ANELVA I-1201 CXは、最も要求の厳しい産業用途でも、一貫した表面処理操作を保証するように設計された汎用性が高く、堅牢で信頼性の高い原子炉です。その耐久性と柔軟性により、中規模から大規模な産業加工作業に最適です。その高度な技術と安全機能は、さまざまな表面処理のための信頼性と経済的なソリューションになります。