中古 CANON / ANELVA FC 7100 #9400031 を販売中

CANON/ANELVA FC 7100は半導体製造用に設計された高性能リアクタです。これは、従来の原子炉と比較してはるかに低コストで設置面積を小さくするために、ユニークな円筒形のフロー付き設計を利用しています。この原子炉は加熱されたダイヤモンドチャックを使用してウェーハを保護し、加工に安定した一貫性のある平面表面を提供します。CANON FC 7100は、200mm （8インチ）および300mm （12インチ）ウェーハの加工に特に適しています。統合スキャンアライナーを使用して、アライメントおよびパターニングプロセス中の精度を検証します。これらのプロセスは、900℃までの高温で発生する可能性があります。また、微細加工時のウェーハ加工を検査するため、大型の石英表示ポートを備えています。また、観覧窓には反射防止コートが装備されており、絶縁されたグランドラインを介して接続されているため、ウェーハを移動する際の電気ノイズから包括的に保護されています。ANELVA FC7100リアクターはユーザーフレンドリーなインターフェースで設計されており、オペレータは最大16個の調整可能なパラメータで処理条件を簡単に制御または監視できます。また、エッチング、蒸着、クリーニングプロセス中に正確な温度制御を保証するために、内蔵のホットプレートヒーターも含まれています。微細加工工程の要件に応じてFC7100キヤノンに複数のウェハホルダーを取り付けることができます。例えば、シリコンウェハアプリケーションでは、ホルダーに炭化ケイ素プレートをベースとして取り付けて、歩留まりを改善し、より良い表面仕上げを提供することができます。さらに、キヤノン/ANELVA FC7100は、ローダーや自動アンローダーなど、ウェーハ転送用の複数のシステムをサポートしています。この互換システムをメインコンソールに接続することで、ウエハーのリロードと監視が容易になります。結論として、FC 7100は、半導体製造のための効率的で柔軟なソリューションを提供します。その固体およびユーザーフレンドリーな設計および統合されたaligners、熱い版のヒーターおよび高められた視野窓を含む高度の特徴はそれを小さいおよび大きい生産の条件のための適した選択にします。