中古 CANON / ANELVA FC 7100 #9293805 を販売中

CANON/ANELVA FC 7100は、物理蒸着（PVD）および化学蒸着（CVD）プロセスで一般的に使用される高品質の反応イオンエッチャー（RIE）です。この原子炉は、エッチング工程を高精度かつ正確に制御するために設計されており、表面品質の最適な制御と均一性を可能にします。これは、エッチング剤の正確な適用のためのガス混合物の良好な回転を可能にする回転式パルスバルブに接続されている管状チャンバーで構成されています。チャンバーは窒素で加圧され、内部の環境と条件の制御を強化することができます。真空圧力は堅牢なターボ分子ポンプによって維持され、荷電粒子の激しい加速をもたらし、エッチング速度を高め、スムーズなエッチング処理を提供します。さらに、自己生成された低圧化学蒸気コンポジターがチャンバーに組み込まれており、エッチング工程を通じて連続的に反応種を供給し、エッチング速度を正確かつ正確に制御することができます。エッチングプラズマは、使用されるガス混合物に応じて、0。2〜2 Torrの間で安定したプラズマを提供する高密度13。56 MHz RFジェネレータによって作成されます。RFジェネレータは、0〜1000 Wの出力レベルで調整可能な高出力ソリッドステート電源によって供給されます。十分な電力入力により、エッチングさえも保証され、均一なエッチング表面品質を提供します。最新のマイクロプロセッサ制御電圧および周波数レギュレーションシステムは、スムーズなエッチング処理を保証します。先進的な反応チャンバー設計により、O2、 BCl3、 Cl2、 CF4、 CHF3、 NF3、 Arなどのさまざまなエッチングパラメータとガス混合物を可能にします。試料全体に均質なエッチングを確保するために、試料表面面積に関係なく同じエッチング速度を保証する低圧デバイスを装備しています。CANON FC 7100は、シリコン、金属、窒化物、酸化物、フォトレジスト、ダイヤモンドのような炭素など、幅広い材料に適しています。ANELVA FC7100は、さまざまなエッチング要件に合わせて調整することができ、最高品質の表面品質を提供する信頼性の高い性能を備えた強力で信頼性の高い原子炉です。ANELVA FC 7100は、先進のRF生成技術、高出力ソリッドステート電源などを組み合わせ、エッチング工程の高効率エッチングと精密な制御を実現します。それは一貫性のある高品質の結果を必要とする毎日のエッチングのニーズのための経済的に効率的なソリューションです。