中古 CANON / ANELVA FC-3100 #9292992 を販売中

CANON/ANELVA FC-3100は、ハイスループットフォトレジストエッチングプロセス用に特別に設計された高度な垂直電気化学エッチング炉です。この機器は、高いエンドポイント精度と重要な均一性ギャップカバレッジをユーザーに提供するように設計されています。このシステムには、MEMと集積回路製造の両方の高精度ニーズに対応する完全な機能が含まれています。キヤノンFC-3100には、プラチナ化されたチタン陽極とステンレス鋼の陰極をプラチナ化したチタンディストリビュータープレートに入れた電気化学エッチングユニットがあります。アノードとカソードはDC電源に接続されており、それらの間に電流を通すことができます。電流密度、露出、および電解質構成を制御することにより、ユーザーは厚いフォトレジスト層に正確にエッチングすることができます。ANELVA FC-3100には、効率的なエッチングのための高スループット水晶反応器が含まれています。150mmまでのウエハを一度に4本まで収容可能で、高い歩留まりを実現します。この原子炉室は、優れた温度制御によりプロセス条件を維持するように設計されており、すべてのウェーハを均一にエッチングします。このマシンはまた、統合されたプロセス監視および制御機能を備えています。これには、不活性ガス注入ツールとコンピューター制御のデータロギングが含まれており、ユーザーはプロセスを最適化し、優れたクリティカルギャップカバレッジを維持することができます。全体として、FC-3100は高度な垂直電気化学エッチング炉であり、ユーザーが高いスループット、精密エッチングプロセスを達成するのに役立つさまざまな機能を備えています。効率的な石英反応器、不活性ガス注入制御、コンピュータ制御データロギング、プロセス監視機能を備えているため、エッチング工程全体で高いエンドポイント精度と重要な均一性ギャップカバレッジを実現できます。