中古 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057 を販売中

キヤノン/ANELVA COSMOS I-1201は、半導体産業におけるエッチングや成膜などの用途向けに設計された原子炉の一種です。イオンエッチング装置の一種で、その中にソースと基板が配置された円筒形のチャンバーと、その周りのガスの流れやその他の補助システムから構成されています。チャンバーは、ソースを持つ主要な反応チャンバーと、ガス流量制御および補助機能に使用されるいくつかの二次チャンバーに分かれています。主反応室はステンレス製の円筒形である。それは12インチの直径と16インチの長さを持ち、アクティブな高さは12インチです。1。3〜10〜4Pa〜0。6Paの圧力での動作×可能で、加速電圧20kVまでの加熱で室温1000°Cまで加熱できます。チャンバーの主なコンポーネントには、静電イオンポールとイオンフィルターのペアがあります。電極は、イオンをイオン化して基板に向かって加速する強力な電場を作り出します。イオンフィルターは、荷電粒子だけがそれを通過することを可能にし、堆積またはエッチングされている材料の種類を制御します。CANON COSMOS I-1201には、アルゴン、三塩化ホウ素、六フッ化硫黄、硫化水素などのガスがセットになっています。このシステムには、毎分0。1〜100立方センチメートルの調整可能なガス流量と、蒸着またはエッチング角度の制御を可能にする調整可能なガス流量パターンもあります。このユニットには、エッチングおよび沈着パラメータのカスタマイズ、および機械の制御とその性能の監視を可能にするソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、ANELVA COSMOS I-1201を簡単に操作できるグラフィカルユーザーインターフェイスも備えています。全体として、COSMOS I-1201は精密で汎用性の高い原子炉であり、エッチングや成膜など、半導体業界の幅広いプロセスに適しています。その設計は良質、少量の仕事のためによく適しています。また、比較的シンプルで操作が簡単なため、プロセスを迅速かつ効率的に実行する必要がある人にとって便利なツールです。