中古 CANON / ANELVA APT 5800 #9158872 を販売中

キヤノン/ANELVA APT 5800は、キヤノン株式会社が開発した多種多様な材料の先進的な加工ツールです。この産業グレードのツールは、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、メディカルエレクトロニクスなどの高圧、高温処理アプリケーションで使用するために設計されています。また、プラズマ沈着、スパッタ沈着、カーボンナノチューブ沈着など、さまざまな産業および研究用途にも使用されています。キヤノンAPT 5800は、高精度な温度制御が可能な特許取得済みの3次元（3D）熱拡散装置を採用しています。このシステムは、ANELVA APT 5800をさまざまなアプリケーションのための強力なツールとしてレンダリングします。また、高出力のガス分配装置と、最大11,600°Cの温度を正確に制御できる5ゾーン温度制御装置を備えています。3次元の熱拡散ツールは、材料に熱を適用するときに一貫した結果を保証するのに役立ちます。このアセットにより、温度はウェーハの非常に特定の領域に集中したままになり、より正確で均一な結果が得られます。さらに、APT 5800は、プロセス温度を正確に制御しながら、隣接するコンポーネントやデバイスへの重大な加熱影響を最小限に抑えるために高度な技術で設計されています。これにより、高品質の製品が幅広い用途で確実に実現されます。また、シャワーヘッド式のガスディフューザーを採用し、精密かつ均一なガス配分を可能にしています。この機能により、プロセスの安定性が向上するとともに、材料の接着と制御が向上するなど、改善された結果が得られます。CANON/ANELVA APT 5800は、ガス拡散板への設置フラッシュ用に設計された統合ラダーバッファも備えています。この設計はより大きい反作用の部屋を可能にし、より大きい適用のためのより大きい容量を提供します。結論として、キヤノンAPT 5800は、さまざまな高温処理用途に使用できる強力な原子炉です。高精度の精密制御用に設計されており、高品質の結果を保証するために高度な技術コンポーネントを備えています。この原子炉は、高圧、高温の環境で正確な温度制御を必要とするあらゆる用途に最適なツールです。