中古 CANON / ANELVA APT 5800 #9158870 を販売中

キヤノン/ANELVA APT 5800は、成膜、エッチング、コーティングなどの幅広い用途向けに設計された高精度、多機能電子ビーム処理炉です。この高性能機器は、精密な加工が必要なエレクトロニクス、光学、半導体、医療など、さまざまな業界に最適なソリューションです。キヤノンAPT 5800は、6軸制御システムを備えた最先端の電子ビームガンで、高いビーム均一性、低ビーム発散性、優れたビーム制御を実現しています。この顕著な単位はまた優秀なビームの均等性を維持している間粒子の汚染を除去する通気された熱されたベローズを含んでいます。その高解像度クイックチェンジビームスクエアマシンは、高速かつ正確なビームアライメントと均一性のためのユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。ANELVA APT 5800は、最大4つの異なるターゲットを同時に処理できるため、高効率です。また、すべてのターゲット位置にわたって均一性を確保するための高度な自動電流補償機能を備えています。APT 5800にはElectro-Static Precise Slide Tool （ESP）が装備されており、優れた処理能力を提供するために電子ビームガンとターゲットを正確に傾け回転させることができます。これにより、切り替え時間を最小限に抑えて、1回の実行で多方向処理を完了できます。CANON/ANELVA APT 5800は、温度制御、Faraday Cup Monitor、 Process Timing Controlなどのさまざまなプロセス制御機能も備えており、プロセスのすべての段階を正確に監視および制御できます。この原子炉は、ターゲット位置決めユニット（TPU）、真空漏れ検出器（VLD）、および一貫した予測可能なプロセスを保証するように設計されたロードロックアセット（LLS）など、さまざまな補助部品によって補完されています。キヤノンAPT 5800は、優れた結果を生み出す信頼性と堅牢性を備えた原子炉で、さまざまな産業環境で使用できます。このモデルは、驚異的な精度、精度、およびスループットを提供し、処理ニーズに対応するオールインワンソリューションをお探しの方に最適です。