中古 CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453 を販売中

CAMBRIDGE NANOTECH/VEECOサバンナは、さまざまな厚さとサイズの化合物半導体を処理するように設計された堅牢で高速な原子炉です。この原子炉は、多くの大学や産業研究開発研究所に最適なツールです。VEECO Savannahは、自動校正機能を備えた完全に自動化されたプロセスを提供し、継続的な手動介入の必要性を排除します。ドーピング、エピタキシャル沈着、エッチングなど、さまざまな材料合成、製造、修正プロセスに使用できます。原子炉は4つの独立したガスチャネルで構築され、最大9つのウエハの容量を持っています。各ウェハはロボットアームによって連続処理され、プロセスガスやサンプル材料の自動切り替えが可能です。これにより、成長率や温度などの正確な要因をプログラムし、正確に維持することができます。CAMBRIDGE NANOTECH Savannahは、最先端のエピタキシャル蒸着プロセスに必要な低圧プロセスを備えています。温度範囲は100°C〜800°Cで、DCまたはRFのいずれかの電源で使用でき、幅広い用途に適しています。サバンナは、正確な成長制御を確保するために、エンドオブラン検出器、診断機器、クローズドループ温度制御を備えています。さらに、便利なウェーハ転送システム、統合計測ユニット、および実行中の粒子汚染を防ぐ防汚装置を備えています。CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannahは、化合物半導体材料およびその他のプロセスの堆積用に特別に設計された、高効率でユーザーフレンドリーな原子炉です。VEECO Savannahは、幅広いプロセスパラメータと正確な成長制御により、半導体研究者に理想的なツールであり、新しいプロセスの探索と開発に最適なプラットフォームを提供します。