中古 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9259772 を販売中

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 9259772
ウェーハサイズ: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSは、さまざまな研究および製造アプリケーションで使用するための高度な原子炉です。これは、独自のモジュラー制御バイパスアーキテクチャと低圧および高圧バルブを備えた真空チャンバーで構成されています。プロセス制御とリアクター性能を最適化するように設計されたこの装置は、中和、水素化および電極製造に最適です。Backbone-VTSは、CVD、 PE、 POV、 CPCなどの反応をサポートできます。最小圧力1mbarで、得られたプロセスと材料特性を正確かつ確実に再現することができます。その効率的で堅牢な設計は、さまざまなタイプの温度制御システムと圧力センサーに対応することができ、特定の要件に合わせてプロセスを調整するために必要な柔軟性を提供します。この原子炉には、独立して運用されている複数のシャワーヘッドアセンブリがあり、それぞれに独立したアブレーションチャンバーと統合された電源が装備されています。これにより、プロセス時間、温度、および圧力パラメータを正確に制御できます。さらに、先進的な耐久性の特徴が設計に組み込まれているため、原子炉室全体で信頼性と一貫した温度の均一性が可能です。このユニットは、非常に効率的な真空制御を提供します。内蔵の低圧制御により、内部圧力を制御することができ、プロセス障害による急激な圧力低下を排除し、優れた再現性を実現します。また、統合された冷水および/または温水循環機械は、反応室全体に均一な温度プロファイルを保証します。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSは、セラミックチップクォーツクリスタルセンサー、ペリスタルポンプ、デジタル読み出し(DRO)ツール、プロセス障害およびプロセス許容プロセスなどのユーザーフレンドリーな機能も統合しています。グローブボックスや追加センサーなどの幅広いアクセサリを設計に組み込むことができ、複数のリアクタ処理構成を可能にします。すべてのaforesaid機能は、品質と性能の最高水準を満たすように設計された最先端の原子炉であるBackbone-VTSに含まれています。取付け、作動すること容易この強力で、有効な資産はすべての研究および製造業の適用のための理想的な選択です。
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