中古 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #293639202 を販売中

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 293639202
ウェーハサイズ: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSは、ガスと液体の形態でさまざまな前駆体の材料を処理するために設計された原子炉です。この原子炉は高温を高精度に届けるよう設計されており、幅広い材料の効率的な生産を可能にしています。BROOKS AUTOMATIONのBackbone-VTSリアクターは、さまざまな先進技術を使用して、産業用途で使用するための効率的な機器を提供しています。システムの中心は熱均一性のために熱的に制御される回転基盤です。この基地には一連のるつぼがあり、それぞれ最大500mLの作業能力を備えています。精度を確保するために、BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSリアクターは、十分に保護された温度制御ユニットに依存しています。冷たいガスや熱いガスの循環を最適化することで、室温から最大摂氏1200度までの温度に到達することができます。温度は手動で変更することも、リアクターのプログラム設定を使用することもできます。プログラミング機能を使用して、オペレータは原子炉用に最大10の温度曲線をプリセットすることができ、幅広いプロセスパラメータで効率的かつ信頼性の高い動作を可能にします。Backbone-VTSは、さまざまな制御機能とユニークな状態監視装置を備えており、オペレータは反応プロセス全体を監視することができます。これには、プラズマ放射モニタリング、ヒートバランス温度制御、および接触熱電対またはサーモパイル温度制御が含まれます。同時に、真空圧力、ガス流量、攪拌速度などの追加のプロセス制御パラメータは、すべて、マシンのユーザーフレンドリーなインターフェイスを介して調整または監視することができます。全体として、BROOKS AUTOMATION Backbone-VTSリアクターは、さまざまな産業用途向けの効率的で信頼性の高いツールです。高度な温度制御資産、監視機能の範囲、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、幅広いプリカーソル材料に迅速かつ簡単なソリューションを提供します。
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