中古 AVIZA / OMEGA 201 #9396141 を販売中

AVIZA/OMEGA 201は、ジルコン株式会社が半導体製造および化学のツールとして開発した原子炉です。この原子炉は、低圧化学蒸着（LPCVD）、化学プラズマエッチング（CPE）、化学蒸着（CVD）の3つのレベルのプラズマプロセスを使用して、望ましい結果を達成します。原子炉は、高さ約7フィート、幅2フィートの円筒形の装置で、ステンレス製の真空チャンバー内に囲まれています。AVIZA 201は、特に誘導結合電子サイクルで、大気圧プラズマチャンバーとして動作します。外部からは、この原子炉には、プロセスガス入口用と真空ポンプ用の2つの異なるポートがあります。原子炉内部は、電子サイクルを容易にするための電源、真空供給、チャンバー壁、および電極で構成されています。これらのコンポーネントはそれぞれ相乗的に動作し、望ましい結果を生み出します。OMEGA 201で使用される電源は、最大1000ワットの電力を供給できる中周波電圧制御の発電機です。この電力は、原子炉室内のプラズマ環境を作成するために使用されます。真空供給は、20ミリバー以下の圧力でチャンバーを下降させるため、プロセスに安定した大気環境を提供します。チャンバー壁と電極は金属でできており、熱や化学的劣化に抵抗する材料でコーティングされています。電極は電子周期を作り出すのに使用され、電気エネルギーが電極に移り、高エネルギー状態にプロセスガスを励起することによってプラズマを作り出します。このプラズマは、CVD、 CPE、またはLPCVDプロセスによって、原子炉室内で所望の反応を生成するために使用されます。201は、半導体製造と化学のための拡張性と正確な結果を提供するように設計されています。精密な電源と最大3レベルのプラズマ処理により、最大歩留まりに最適化された化学反応に最適な環境を作り出します。この原子炉は、半導体やハイテク製品の製造に成功しています。