中古 ASM Polygon P8300 (2) P3000 #9383215 を販売中
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ID: 9383215
CVD System, 12"
Mainframe with loadlock
Loadports
Transfer chambers
No process chambers
2009 vintage.
ASMポリゴンP8300 (2) P3000は、セラミック並び、長期、高温、化学蒸気攪拌炉です。この原子炉は、高純度、新しい化学物質、および特殊材料の生産のためのマルチステップおよび連続プロセスに最適です。P8300 (2) P3000は、さまざまな化学反応を含む研究開発活動に最適です。プロセスチャンバーは、耐火セラミック製の円筒形で、高温耐腐食性摩耗板で裏打ちされています。耐火材料は、プロセス室内の温度を維持するのに役立ち、敏感で危険な材料を揮発温度から保護します。回転かき混ぜる要素は調節可能で、10,000 rpmまでの速度に達することができます。これは優れた混合特性を提供し、徹底的な混合と反応剤の均質化を保証します。トッププレートは容器をキャップし、攪拌素子の駆動機構を内蔵しているため、反応に最適な値で攪拌速度の制御を維持することができます。P8300 (2) P3000には、上部と下部のプレートに複数の入口と出口ポートがあり、反応物質の侵入と原子炉からの反応混合物の除去を可能にします。これらのポートは、プロセス材料の最適な安全性と封じ込めを確保するために、ダブルシール継手で設計されています。さらに、P8300 (2) P3000には不活性ガスのパージシステムが装備されており、原子炉本体の一部を不活性な雰囲気でパージすることで、望ましい反応条件を維持することができます。さらに、P8300 (2) P3000には、PIDプロセスコントローラと複数のタイマーで構成されるデジタルコントローラがあります。PIDコントローラは、反応のすべてのパラメータを監視して、良好で制御された化学処理を維持するように設計されています。統合されたタイマーは、バッチ実行の10進数をカウントダウンするようにプログラムすることができます。この原子炉とC-WiGシステムの互換性により、リアルタイムとポストプロセスの両方でデータロギングと反応データの収集が可能になります。要約すると、ASMポリゴンP8300 (2) P3000は、ロータリースターラーを搭載した高温セラミックライニング炉です。PIDコントローラを備えたデジタルコントローラ、複数のタイマー、プロセス制御用の不活性ガスパージシステムを備えています。高純度化学製造および多段階/連続プロセスにおける研究開発活動に最適です。
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