中古 ASM Polygon 8300 #9004107 を販売中
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ID: 9004107
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
ASMポリゴン8300リアクターは、高分子の製造および反応工学実験のための高分子ビルディングブロックの作用のために設計された、しっかりと取り付けられた多目的高圧ガス懸濁液リアクターです。この原子炉には、機械式スターラーと、流動床原理を修正したガス噴射装置が装備されています。原子炉は2つの平らなステンレス鋼の端のフランジが付いている円筒形のステンレス鋼の圧力容器から成っています。圧力容器は、最大225°Cで8 bar (g)の最大動作圧力で、8リットルの総内容積を提供します。ガスバブルリフト装置を搭載した高性能パドルとガスリフトシステムにより、高いエネルギー入力と混合速度が可能となり、反応速度の高速化と反応選択性の向上を実現します。Polygon 8300にはオープンガス射出ユニットが装備されています。圧力容器の下部にある多角形の「ガスバブルリフト」インジェクタと、容器の上部につながる出口パイプで構成され、大きな圧力損失なく原子炉にガスを含めることができます。また、原子炉は安全な作業環境を提供するように設計されており、すべての計装、バルブ、ポンプ、および電気部品が容器自体に統合されています。圧力容器とそのエンドフランジには、温度および圧力センサ用の標準的なサーモウェル、およびバックアップ安全のための安全圧力弁が装備されています。独立した圧力計は、容器内部の工具圧力を示します。さらに、ASMポリゴン8300リアクターは、簡単な操作と最大の効率のために設計されています。すべての装置は熱および圧力損失を最小にし、急速な開始時間を促進するように設計されています。さらに、原子炉は自動化された操作とプロセス制御のために設計されています。Polygon 8300は、アクティブで連続的な流れの条件下での動作に適しています。供給資産は、試薬と反応製品の両方を提供することができる垂直に取り付けられたperistalticポンプで構成されています。要約すると、ASMポリゴン8300リアクターは、高分子合成、反応工学実験、その他の用途に適した高効率の多目的リアクターです。オープンガス射出モデルは、高いエネルギー入力と混合率を提供し、圧力容器とその統合安全装置は、動作中の安全性を保証します。自動化された操作とプロセス制御機能により、最大の効率が保証されます。
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