中古 ASM F120 #9384773 を販売中
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ID: 9384773
Thermal ALD system
Upto 400°C
(4) Reactors, 4" Single wafers
Deposition:
Al2O3: TMA and H20
TiN/TiO: TiCl and N2/O2
Uniformity: 80 - 90 mm.
ASM F120リアクターは、さまざまな表面改質プロセスに使用されるパーティクルベッドリアクターの一種です。この原子炉は、マイクロ波プラズマ場と回転粒子台を組み合わせた連続流量マイクロ波プラズマプロセスを利用しています。この原子炉は、化学蒸着（CVD）や火炎熱分解などの従来の表面改質法と比較して多くのユニークな利点を提供し、表面酸化やコーティング、表面不動化、表面安定化、窒化ホウ素ドーピングなどの用途に最適です。ASM F 120リアクターは、マイクロ波プラズマ発生器、回転粒子ベッド、プロセスチャンバーの3つの主要コンポーネントで構成されています。プラズマ発生器はマグネトロンチューブを使用して、原子炉室内に注入される熱いマイクロ波プラズマ場を生成します。回転パーティクルベッドは、プラズマ場内の粒子を輸送するために使用され、表面改質プロセスの効率と均一性が向上します。プロセスチャンバーを調べると、原子炉F120は、閉じた底端、調節可能なノズル、および温度計、ガス入口、RF電源接続、およびその他の供給材料用の4つのポートを備えた石英管が含まれています。チャンバーには、一連の同心水晶リングと予熱器もあります。リングは放射状の圧力勾配を作り、予熱器は粒子へのエネルギーのマイクロ波の移動の前にプロセス部屋を予備加熱するのに使用されます。F 120リアクターの特性は、温度、圧力、ガス流量、RF電力など、さまざまなパラメータを使用して微調整することができます。2000 Cまでの温度範囲で、この原子炉は極端な条件下で動作し、より高いレベルの均一性と性能を提供することができます。この原子炉は、金属、プラスチック、セラミック材料など、さまざまな材料を処理することもできます。結論として、ASM F120炉は、さまざまな目的や材料に使用される汎用性の高い効率的な粒子床炉です。この原子炉は、マイクロ波プラズマプロセスを利用して均一で効果的な表面改質を提供し、従来の方法と比較して多くの利点を提供します。極端な条件下で動作する能力と様々な材料を処理する能力を備えたASM F 120原子炉は、表面工学および窒化ホウ素ドーピングの分野でユーザーの間で人気のある選択肢です。
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