中古 ASM Epsilon E3200 #9196380 を販売中

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製造業者
ASM
モデル
Epsilon E3200
ID: 9196380
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Chemical vapor deposition system, 12" Epitaxial reactor Reduced pressure Chamber Gas loops: Nitrogen (N2) purge Hydrogen (H2) carrier and purge Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas) Low flow hydrogen chloride (HCl) Auxiliary silicon source, silane (SiH4) Germanium source, germane (GeH4) SMIF System: ASYST Integrated SMIF Handler system: ASYST FI Robot GENMARK X-Fer robot Configuration: General system: Model: E3200 RP Right hand Graphite: Xycarb Deep grid self-centering susceptor Reactor pump: BUSCH DS2000 supply Front end interface: (2) Load ports (RF): Isoport (2) FOUP ID Readers (RF) Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration) User touch screen: Installation: Door mounted on wafer transfer module Wafer handling section: Dual 25 wafer loadlock Vacuum load locks: Level 2 Pumps for VLL: Customer to supply: (2) BUSCH BC100 Bernoulli wand Reactor module: HCl Detector-reactor TEK Gas control module: Gases / Range N2 / 100slm H2 / 30slm Low flow HCl / 500sccm Dopant 1: Diborane / 20/200/200 Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200 AUX 1: DCS / 500sccm AUX 2 (Reserve position for future silcore loop) AUX 3: SiH4 / 500sccm AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC) Teed inlet on N-Dopant circuit: Pneumatic control UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) Multi-gas, multi-flow for GeH4 Precision vent matching Mass flow verifier: Canister: 50 Liters HCl Detector: Gas module Power supply: 50Hz / 480VAC 2007 vintage.
ASM Epsilon E3200は、ASM Nuclear Technologiesによって設計された発電炉です。これは、潜在的なエネルギー需要に安全で効率的で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計された、次世代の原子炉の小型モジュラー炉(SMR)です。イプシロンE3200は200MWの電力範囲を持ち、一貫した加圧水型原子炉(PWR)一次冷却技術を利用しています。原子炉心は高密度のホウ素鋼板の壁に囲まれており、内部には低鉛スペーサーグリッド、制御棒、燃料チャネル、およびcalandriaチューブを含む規制されたコア装置が収容されている。これにより、原子炉の効率的かつ安全な運転が保証されます。原子炉には受動熱除去システムも装備されており、すべての電力が失われた場合に原子炉を冷却することができます。この単位は重力および自然な循環の原則に基づいて、力を使用しない。この最先端の技術により、ASM Epsilon E3200現在市場で入手可能な最も安全な原子炉の1つです。Epsilon E3200はまた、リアクタのパラメータのリアルタイム監視を可能にするデジタル計装および制御機械を含んでいます。これは、原子炉をピーク効率に保つのに役立ち、潜在的な問題や問題の早期警告も提供します。ASM Epsilon E3200は、原子力規制委員会による広範な安全審査に合格しており、高度な安全機能の認定を受けています。高度な技術と安全機能を備えたEpsilon E3200は、従来の電源へのアクセスが制限されているか存在しない可能性がある遠隔地での使用に最適です。これにより、ASM Epsilon E3200効率的で安全な電源を求める人々にとって実行可能な選択肢となります。
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