中古 ASM Epsilon E3200 #9196380 を販売中
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販売された
ID: 9196380
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200は、ASM Nuclear Technologiesによって設計された発電炉です。これは、潜在的なエネルギー需要に安全で効率的で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計された、次世代の原子炉の小型モジュラー炉(SMR)です。イプシロンE3200は200MWの電力範囲を持ち、一貫した加圧水型原子炉(PWR)一次冷却技術を利用しています。原子炉心は高密度のホウ素鋼板の壁に囲まれており、内部には低鉛スペーサーグリッド、制御棒、燃料チャネル、およびcalandriaチューブを含む規制されたコア装置が収容されている。これにより、原子炉の効率的かつ安全な運転が保証されます。原子炉には受動熱除去システムも装備されており、すべての電力が失われた場合に原子炉を冷却することができます。この単位は重力および自然な循環の原則に基づいて、力を使用しない。この最先端の技術により、ASM Epsilon E3200現在市場で入手可能な最も安全な原子炉の1つです。Epsilon E3200はまた、リアクタのパラメータのリアルタイム監視を可能にするデジタル計装および制御機械を含んでいます。これは、原子炉をピーク効率に保つのに役立ち、潜在的な問題や問題の早期警告も提供します。ASM Epsilon E3200は、原子力規制委員会による広範な安全審査に合格しており、高度な安全機能の認定を受けています。高度な技術と安全機能を備えたEpsilon E3200は、従来の電源へのアクセスが制限されているか存在しない可能性がある遠隔地での使用に最適です。これにより、ASM Epsilon E3200効率的で安全な電源を求める人々にとって実行可能な選択肢となります。
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