中古 ASM Epsilon E2000 #9213662 を販売中

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製造業者
ASM
モデル
Epsilon E2000
ID: 9213662
ウェーハサイズ: 8"
EPI Reactor, 8" Upgraded by ASM to E2000 Substrates: Si & SOI Right hand configuration CRT and keyboard Dual floppy drive Chiller: No External gas cabinet: No General description: Single-wafer High-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature Germanium (SiGe) for forming transistor strain layers Includes: Main body B Control box Gas cabinet A/C Rack B Work station Misc B parts.
ASM Epsilon E2000は、高度な化学および材料加工の用途に特化して設計された原子炉です。中型の高エネルギー電子ビーム源で満たされた中央チャンバーを備えています。このビーム源は、実験の目的に応じて、いくつかの方法で電子を集中させることができます。さらに、原子炉には、ビームを形成するための1つ以上の磁場、エネルギー制御と微調整のための横方向RF(無線周波数)コイルの4組、電子の集中と位置決めのための1対の線形RFコイルも含まれています。イプシロンE2000は、様々な用途における電子ビームの精密な制御を可能にする装置です。これは、エネルギーで最大6。5 MeVの電子を加速することができ、100〜500 µmの精度でビームの位置を制御することができます。ASM Epsilon E2000の設計は、さまざまな環境やセットアップでの動作を可能にするようなものです。モジュール式であるため、アプリケーションの特定のニーズに合わせてコンポーネントを構成できます。さらに、このシステムは、コンポーネントに損傷を与えることなく高レベルの放射線を処理するように設計されており、最大150°Cの温度と最大6x10-6 mbの低真空圧に耐えるように設計されています。イプシロンE2000は、材料加工、イオン注入、加速器診断、核物質分析など、さまざまな作業に使用できます。材料の微細構造やナノ構造の研究に適しており、従来の手法では解析できない表面の特性を特徴付ける。さらに、断層撮影などの非破壊検査技術で使用され、部品の内部構造の高解像度3D画像を生成します。ASMイプシロンE2000炉は、汎用性が高く、安全で再構成可能な装置です。電子ビームの正確な制御と操作を必要とするさまざまな用途に使用できる信頼性の高い正確な研究ツールです。このシステムは、使いやすさと幅広い機能のため、研究および産業用途の両方に最適です。
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