中古 ASM EPSILON 3200 #9366109 を販売中
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販売された
ID: 9366109
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200は、材料試験、中性子ラジオグラフィー、中性子活性化解析などの用途向けに設計された先進的な研究炉です。プール型水槽と直径40cmのコアを備えた3MWhの低電力原子炉で、20％の濃縮ウラン酸化物を燃料としています。プールの容積は30 m3で、原子炉はサブクリティカル状態で動作します。これは、連続的な制御棒の挿入の必要性を意味します。原子炉はコアの上に設置されたプレヒーターによって熱的に保護されており、中性子フラックスはモデレーター、濃縮および燃料元素の供給を使用して変更することができます。制御システムは電気機械システムに基づいており、2つのフェイルセーフポイントと、異常の場合には原子炉を通常の動作に戻すことができるロジックを備えています。安全システムは、過熱、燃料元素の溶融、放射能漏れ、安全システムの損失など、運転中に発生する事故を防ぐために設計されています。自動再起動と原子炉スクラムシステムを備えた非常用電源システムは、最高の安全要件のために組み込まれています。EPSILON 3200は、核物質、中性子活性化、サンプル照射、中性子放射、中性子散乱およびその他の中性子関連アプリケーションの研究用に設計された信頼性の高い効率的な研究炉です。それは異なった適用で使用される多数のエネルギーの高束束の中性子を提供することができます。容易に維持・運用でき、多種多様な研究に適しています。
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