中古 ASM EPSILON 3200 #9198737 を販売中
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販売された
ID: 9198737
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200は原子炉の一種です。軽水炉（LWR）を使用しており、大規模な発電に適しています。原子炉の主な構成要素は、原子炉心、一次冷却システム、燃料棒です。原子炉心は数百のウラン燃料棒からなる燃料アセンブリで構成されている。中心はすべての部品を含んでいるように設計されているステンレス鋼の圧力容器によって囲まれています。コアは、プライマリクーラントとして機能する軽い水のプールで水没しています。このクーラントは、コア内で起こっている反応によって生成される熱を吸収し、次にそれを二次クーラントに転送し、それをタービン発電機に転送します。燃料ロッドに加えて、コアにはモデレータも含まれており、中性子がウラン原子を分割したときに放出される電子を遅くします。これにより、原子炉の反応が遅くなり、制御されていない連鎖反応に伴うリスクが軽減されます。燃料ロッドの密度は、反応速度をさらに制御するために変化させることもできます。セキュリティは、EPSILON 3200のもう一つの重要な側面です。複数のレベルの制御システムを採用しており、原子炉の運転と補助安全システムを監視しています。これらは、緊急時に原子炉を停止するために使用することもできます。さらに、原子炉は、生産される可能性のある放射性廃棄物を含むように設計されています。原子炉は、両方とも封じ込め構造を備えており、二次封じ込めユニット内に収容されています。結論として、ASM EPSILON 3200は軽水炉です。ステンレス製の圧力容器を使用して、原子炉心の成分を含み、軽い水のプールに囲まれています。モデレータと制御システムは、コア内の連鎖反応が安全なレベル内に保たれるようにするために使用され、事故が発生した場合には封じ込め機械が設置されます。これらの要因を念頭に置いて、EPSILON 3200は安全で信頼性の高い電源です。
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