中古 ASM EPSILON 3200 #293818092 を販売中
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ID: 293818092
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Epitaxial (EPI) reactor, 12"
Genmark WHC-Robot
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
Asyst FI-Robot
Purifier Module
Option system: OS9
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200は、2,400〜2,800 rpmの動作範囲を持つ高性能リアクタです。汎用性の高いユニットは、安全性と耐久性を向上させるためのステンレス鋼反応室を備えています。この設計には高度な制御機能が組み込まれており、原子炉は動作範囲全体にわたって最適な動作温度を維持することができます。これにより、反応の性能や品質を損なうことなく、幅広いプロセス条件や圧力で安全に動作することができます。原子炉内に特許取得された加熱冷却機構は、石油と加熱水の組み合わせを使用して、反応室の均一かつ制御された加熱と反応製品の冷却を提供し、システムが安全で一貫した状態を維持することを可能にします。さらに、加熱および冷却機構は、他の原子炉に見られるものを超えて、電力レベルおよび温度で動作することができます。リアクターには、プロセス条件を監視し、パフォーマンスの異常を検出するためのさまざまな洗練されたセンサーも含まれています。これらのセンサには、さまざまな温度、圧力、流量センシングデバイスが含まれており、最適な性能と安全性のために動作を継続的に監視および調整することができます。このマシンには、複数のアラームと安全システムも含まれており、予期しない問題が発生した場合にプロセスをシャットダウンします。リアクターの汎用性の高い設計により、温度と圧力の極限試験やオートクレーブプロセスなど、さまざまな用途に使用することができます。このツールは最大2基の原子炉に対応でき、各原子炉は約1500リットルの材料を処理することができます。信頼できる安全なプロセスを提供することに加えて、原子炉は容易に構成され、整備することができます。寸法も小さく、特別な宿泊施設や追加スペースを必要とせずに、ほとんどの標準的な工場ラインに簡単に統合できます。全体として、EPSILON 3200は、安全性とパフォーマンスを最適化するために設計された幅広い機能と機能を備えた信頼性の高い汎用性の高い原子炉です。このアセットは構成とメンテナンスが容易で、さまざまなプロセスを処理できる高性能リアクターをお探しのお客様に最適です。
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