中古 ASM Epsilon 2000 #9050020 を販売中
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販売された
ID: 9050020
ウェーハサイズ: 8"
EPI Reactor, 8"
Model 26
Stand-alone, single wafer
Reactor module:
Model RP for reduced pressure processing and ATM processing
Vacuum load locks (scroll pump not included)
Clean-room front with color touch screen operator interface
(2) independent wafer cassette load locks
Right-hand maintenance access configuration
Automated wafer handling section with Bernoulli wand
VAT – reactor gate valve
Maintenance access: 2 0port in wafer handling chamber
Epitaxy process chamber, susceptor and related quartzware for 200mm wafer processing
Toshiba graphite: square
Observation windows on maintenance access doors in wafer handling and process chamber sections
68040-based computer
Operating system and software with 4.3 Gbyte hard disk drive
Multiport Injector Flange with water cooling circuit
Vibration Isolation Package
HCl detector: reactor module
Adjustable Spot Lamps
Gas control module:
Orbital welded 316L stainless steel, electropolished interior surface tubing
Line and component connections via metal-gasketed fittings
.003 micron point-of-use filtration
AERA mass flow controllers: Model 7810/7820
Gas sampling ports
Gas Loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etch
Dopant #1, diborane (B2H6) P-dopant, diluent and inject
Do pant #2, phosphine (PH3) or arsine (AsH3) N-dopant, diluent and inject
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Auxiliary loop for TCS with MFC and Lorex Piezocon controller
Advanced application valving
HCl detector – gas module
Precision Vent Matching
Power module:
Single point, 3-phase, 60 Hz, 480 VAC power input
Lamp array SCR packs
110 VAC/24 VAC power distribution circuits
Power and load protection devices
0 ft. (15.2m) of interconnect wiring harness for remote operation
Engineering console:
Color touch screen operator interface
Operator key lock control
Temperature control digital electronics
50 ft. (7.6m) of interconnect wiring harness for remote operation
Source cabinet with mini bubbler:
10-liter mini-bubbler
H2 Detector
HCl detector
TCS/DCS.
ASMイプシロン2000は、幅広い用途で幅広いニーズに対応できるように設計された汎用性の高い原子炉です。これは、信頼性が高く、低メンテナンスで安全に動作する原子炉であることを意図しており、核技術に必要な様々な核分裂性材料と同位体濃縮燃料を生産することができます。イプシロン2000はナトリウム冷却高速炉である。このタイプの原子炉は、冷却剤として液体ナトリウムを使用しており、他の原子炉タイプよりも高温で動作することができます。それは二重壁の中心および外的な源からの余分安全そして保護を提供する補強された鋼鉄封じ込め容器と組み立てられます。さらに、ASM Epsilon 2000は、コアが安全限界を超えないようにさまざまな制御システムを使用しています。イプシロン2000は他の原子炉と比較して多くの利点がある。それは85％-効率率を持っています、それはより少ない燃料でより多くのエネルギーを生成することができることを意味します。燃費の向上は、運用コストの削減と廃棄物の発生の削減につながり、より費用対効果の高い原子炉オプションとなります。さらに、ASM Epsilon 2000の設計により、より効率的な燃料使用が可能になり、熱伝達によってエネルギーを無駄にするのではなく、より多くの燃料をエネルギーに変換することができます。イプシロン2000はまた、緊急コア電源遮断システムや絶縁ゾーン安全システムなど、さまざまな安全機能を備えています。これらの特徴により、原子炉は緊急事態に迅速かつ安全に対応できるように設計されています。さらに、原子炉には給油・メンテナンスのためのシステムがあり、内部部品を適切に維持し、燃料を定期的に交換することができます。ASM Epsilon 2000は、さまざまな用途に信頼性が高く、効率的で費用対効果の高い電源を提供できる信頼性の高い原子炉です。その高度な安全システムと効率的な燃料利用は、環境とユーザーの幸福を維持することへのコミットメントを実証しています。イプシロン2000は原子力発電に最適です。
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