中古 APPLIED MATERIALS P 5000 #57339 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 57339
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Core, 8"
AMAT0, generator
CVD
Stored in cleanroom
Can be inspected
1994 vintage.
APPLIED MATERIALS P 5000は半導体製造用の高性能イオンインプラントです。半導体ウェーハにドーパントを堆積させるために使用されます。これは半導体製造の基本的なプロセスです。このツールは、高精度で精度の高い半導体表面にさまざまなエネルギーのイオンを埋め込むことができます。応用材料P5000にドーパントプロファイルの精密な注入を可能にする線量測定、ビーム形成およびビームエネルギーのような調節可能な変数の広い範囲が、あります。また、高い製品品質とプロセスの信頼性を保証する統合ビーム監視システムを備えています。P-5000は革新的なマイクロ波プラズマイオン源を利用しており、非常に高い電流で動作することができます。これにより、電気的に帯電した原子(イオン)が生成され、加速されてビームに集中します。このビームは、ドーパントイオンを半導体表面に正確な角度と深さで埋め込むために使用されます。APPLIED MATERIALS P-5000は、最先端のロボティクスシステムを使用して、インプランター内のウェーハの正確な位置決めを容易にします。これは、ウェーハ表面全体に均一な埋め込みを確保するのに役立ちます。P5000には、オペレータの安全を確保するためのインターロックや安全インターロックなど、さまざまな安全機能が含まれています。また、直感的なGUIを備えているため、インプラントのパラメータの設定、監視、調整が簡単です。P 5000は半導体デバイスの大量生産に最適であり、その高度な機能は高い歩留まりと優れた製品品質を確保するのに役立ちます。また、長期間の使用にも十分な堅牢性があり、その高精度はインプラント工程のサイクルタイムの短縮に貢献します。
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