中古 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #66676 を販売中
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販売された
ID: 66676
PVD systems, 8", sputter TNAA
Mainframe
2 Phase Cryo Pumps (0190-76014)
No RGA Valves
Hoists for Buff
Ch 1 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 2 Configure
Wide Body Chamber w/o Shutter Assembly
13” Source Assembly for WB(0010-20401): MDX-L12M
Magnet part# : 0010-20223 or 0010-20818(Uncharged Al 13” Magnet)
Source Gear Box : 7.5:1
2 Position Gate Valve
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of those
Heater : Standard 101 heater, No Backside Heater Gas lines
Pneumatic lift assembly for 101
Chamber Interconnect PCB(STD)
Ch 3 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 4 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch C Configure
Chamber Interconnect PCB
RF Match box for 200 mm
RF Resonator
13.56 MHz Comdel Power Supply (CPS-1001S)
RFPP 400 KHz Power Supply (LF-10)
Turbo Pump/Adapter (Not Elbow Type)/Cable/Controller(NT150/360)
Ch A Configure : Passthrough
ExistWhole assembly
No Missing Parts
Ch B Configure : Cooldown
No Missing Parts
LLC A&B
Narrow Body Tilt out
CH E&F
Orient Degas Chamber
No TC Option
Degas Module Part# : 0010-20317
1995-1998 vintage.
アプライドマテリアルズEndura 5500は、高品質のエッチング性能と低メンテナンスコストを提供するように設計された先進的なプラズマベースのエッチング炉です。Endura 5500は、最新のopto-mechanicalおよびprocess control advancementを搭載しており、高速スループットと再現可能な結果を超低運用コストで提供することができます。アプライドマテリアルズEndura 5500は、高出力イオンミリング、高密度反応性イオンエッチング（RIE）、スパッタエッチングなど、さまざまな高度なエッチングプロセス技術を利用しています。高出力イオンミリングにより、マイクロマシニングや欠陥修復などのエッチングプロセスを正確に実行し、高品質で再現性のある結果を提供します。ディープエッチング用途には、従来のRIEの4倍のエッチング深度を実現する高密度RIEを採用しています。アプライドマテリアルズEndura 5500は、極めて精密なエッチングのために、最先端のスパッタエッチング加工を施しており、0。25マイクロメートルの精密エッチングが可能です。Endura 5500には、エッチングルーチンの高速化と合理化を目的としたさまざまなプロセスオートメーション機能が搭載されています。プロセス制御と自動化は、統合されたロボットアームとさまざまなリアルタイムコントロール（RTC）機能を使用することで実現され、ユーザーはエッチングパラメータを完全に制御して一貫した結果を保証します。さらに、APPLIED MATERIALTS Endura 5500には、ウェーハプロセスの信頼性の高いテストと確認を可能にする高度な検査システムが統合されています。Endura 5500は、信頼性を確保し、長期的なプロセスのパフォーマンスを最適化するために、エッチング炉の性能パラメータを監視し、メンテナンスが必要な場合にレポートする高度な予測メンテナンスシステムを備えており、ダウンタイムとメンテナンスコストを最小限に抑えます。全体的に、アプライドマテリアルズEndura 5500は、高精度、高スループットエッチング処理に最適です。高度な自動化機能、高品質のプロセス結果、費用対効果の高いメンテナンスソリューションを備えたEndura 5500は、幅広い用途に理想的なエッチング炉です。
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