中古 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155729 を販売中

APPLIED MATERIALTS Endura 5500は、革新的なオープン機器アプローチにより、銅合金や銅合金を含む先端材料の費用対効果の高い堆積を可能にするために設計された画期的な生産炉です。この原子炉は、プラズマエッチング、PVD、 CVDプロセスなどの高温および積極的なプロセス化学の下で生産に値する結果を提供するように設計されています。Endura 5500は、最大500°Cの温度制御を備えた大型加熱チャンバーを備えた高度な全面ウェーハマルチゾーンリアクターで、最大60個のウェーハのバッチあたりのプロセス時間は最大90分です。この原子炉は、独自のベクトル化と高度な均一制御により、プロセスの均一性を最適化し、歩留まりと製品品質を向上させるように設計されています。アプライドマテリアルズEndura 5500は、アプライドマテリアルズ独自のインラインラピッド熱処理（iRTP）およびグローバル均一性制御（GUC）技術を含む、さまざまな蒸着、エッチング、スパッタリング技術を統合しています。このシステムは、自動化されたプロセスオートメーションと制御機能を幅広く備えており、モジュラー型のエンドツーエンド製造が可能です。Endura 5500は、線形および円形の処理チャンバを備えており、ウェーハ単位の均一歩留まりとプロセスの均一性を幅広く提供することができます。この先進的な原子炉は一度に最大3インチウェーハを処理でき、材料の成膜速度は構成に応じて最大2000 angstroms/minまたは2400 angstroms/minです。APPLIED MATERIALTS Endura 5500は、プロセスガスを閉じ込め、原子炉の壁との反応を減らすために、独自のセクストゥポール式の磁気閉じ込めを利用しています。Endura 5500は、データロギング機能を備えた包括的なプロセスモニタリングユニットと、すべてのプロセスパラメータへのシングルビューウィンドウ、およびセットアップと操作を容易にするWebベースのリモートサポートマシンを備えています。さらに、統合されたEndura管理ツールを使用すると、生産設備を完全に自動化できます。APPLIED MATERIALTS Endura 5500は、生産効率と費用対効果を最大化するように設計されているため、銅および銅合金の堆積物やその他の先端材料に比類のない精度と性能を提供します。この革新的な原子炉は、プロセスの卓越性を備えた信頼性と生産性の高い処理ソリューションを提供します。