中古 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155131 を販売中
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販売された
ID: 155131
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Non-SMIF, 8"
Automation online Component: No
Load lock: Narrow Body
Transformer: Short Body
Robot Type: HP
Serial No: 3033
Chamber Configuration (Chamber Type)
Chamber A: By pass, Narrow Body
Chamber B: Cool down, Wide Body
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber E: N/A
Chamber F: Orienter/Degas
Chamber 1: Ti, Narrow Body
Chamber 2: Al, Wide Body (TiN)
Chamber 3: Al, Narrow Body
Chamber 4: Ti, Narrow Body (Al)
Chamber Configuration (Heater/Power Type)
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber 1: 101, 20KW
Chamber 2: 101, 10KW
Chamber 3: 101, 10KW
Chamber 4: 101, 20KW+10KW
MFC Type: STEC
1 Compressor:
Cryo He Line: 50ft
Neslab with resistivity
Hoist: No
RF Rack
Cable Length: 50ft
Pump Type: None
System Rack: STD
1994 vintage.
アプライドマテリアルズEndura 5500は、さまざまな特殊材料の製造に使用される最先端のハイスループット機器です。この原子炉システムは、高度な材料合成と蒸着ソリューションをより高い効率と生産性で提供する自動プラットフォームです。Endura 5500リアクターは、材料合成と沈着の複数のバッチに最適化されており、さまざまなオペレータがさまざまなパラメータを処理してプロセスを生産性と効率性を高めることができます。高速かつ精密な位置決めを可能にする高性能リニアモータを搭載し、オペレータは高度な機能を容易に実行できます。さらに、APPLIED MATERIALTS Endura 5500のドライブは、再現性と正確な動作を可能にし、信頼性の高いプロセス同期を可能にします。Endura 5500は、大型真空チャンバーと最先端の排気ユニットで設計されており、チャンバーの迅速な避難とプロセスの再現性と精度の向上を実現しています。3次元制御(3D-CoC)マシンを通じてプロセス制御を強化し、材料蒸着プロセス中に比類のない精度と制御を提供します。このツールは、高度なアルゴリズムを使用してオンザフライでフィードレートを調整し、材料沈着の課題に対するユニークで堅牢なソリューションを提供します。APPLIED MATERIALS Endura 5500には直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、プロセス全体の制御と操作を最適化するための可視化、分析、リアルタイムのデータ取得ツールをユーザーに提供します。グラフィカルおよび表形式の両方のビューでプロセス情報を表示することで、直感的なユーザーインターフェイスにより、プロセスの構成と監視方法を柔軟に制御できます。また、プロセスの反応と進行状況を最新の状態で追跡できるため、オペレータは個々のバッチのパフォーマンスに基づいて条件を変更し、パラメータを調整することができます。Endura 5500は、金属から薄膜成膜材料まで、幅広い材料で動作するように構築されています。APPLIED MATERIALS Endura 5500は、プロセス制御、高出力リニアモータ、直感的なユーザーインターフェースにより、材料蒸着プロセスにおいてこれまでにないスピード、精度、デッドウェイトの再現性を提供します。
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