中古 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #151071 を販売中

アプライドマテリアルズEndura 5500は、最も要求の厳しい半導体プロセス向けに設計された先進的な世代のウェーハエッチング炉です。この原子炉は、積極的なサイクル時に高品質で高収率のプロセスを提供することができ、半導体デバイス製造における有効性と効率の向上を可能にします。Endura 5500は、生産性と信頼性の高いパフォーマンスを実現する多くの機能と機能を提供します。この原子炉は、最大3つのステーションが利用可能なマルチステーション機能を備えています。各ステーションには、独立したガスインジェクション、プロセス制御、純度監視システムが含まれています。これにより、ユーザーは特定の要件に合わせてシステムを迅速かつ正確に構成できます。この原子炉には、完全なリモートコントロール、予測アラーム、およびリモート診断を含む高度なオートメーションパッケージも備えています。また、原子炉は信頼性が高いように設計されています。熱的に管理されたプロセスチャンバーを含む堅牢な機械設計により、長期的なデバイス性能のために温度を許容可能なパラメータ内に保ちます。部屋は4つの独立して調節可能なヒーターによって熱され、精密な温度調整およびより速い熱ランプ時間を可能にします。エンドプロダクトは超低い十字飽和の高度のガス注入システムが原因で、一貫して良質です。アプライドマテリアルズEndura 5500にはプロセスコントローラが統合されており、リアルタイムのプロセス監視と検証が可能です。プロセスコントローラは、プロセス条件を厳密に示し、潜在的なプロセスの問題をエンジニアに警告しながら、プロセスの再現性を提供し、歩留まり損失のリスクを減らすことができます。原子炉はまた、材料の使用量とコストを削減することができる構成可能な消去リサイクルプログラムを誇っています。Endura 5500は、汚染物質を処理するために設計され、背面拡散を備えた高度で高効率な排気プレナムを備えています。これは、チャンバーに入る前に粒子を捕捉し、よりクリーンなプロセスを確保し、チャンバーの寿命を延ばすのに役立ちます。リアクターのプロセスモニタは、プロセスの不具合を検出し、エンジニアに可聴アラームと視覚アラームを介して警告し、応答時間を短縮します。原子炉は、さまざまな入力ガスのニーズに対応し、交換可能なソースモジュールで利用できます。また、メンテナンスが容易な設計で、迅速な洗浄のためのアクセス可能なチタンライナー、および脆弱な部品の簡単な取り外しと交換が可能です。APPLIED MATERIALS Endura 5500は全体的に、効果的な半導体デバイスの生産と加工のためのユーザーフレンドリーで信頼性の高いプラットフォームを提供します。その高度な技術と機能は、製品が最高品質であることを保証し、洗練されたオートメーションシステムは、プロセスの再現性と均一性を保証します。このため、Endura 5500は半導体産業の中でもエッチング炉として高い評価を得ています。