中古 APPLIED MATERIALS Centura 5200 #174265 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 174265
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
WxP system, 8"
Includes:
Centura Main Frame
System Controller/AC Power Box
Process: Etch Back (W.EB)
System Power Rating: 208 VAC 3-Phase
Loading Configuration: Wide Body Load Lock Chamber
Robot Type: HP Robot wafer handling assembly
CRT Monitor and Monitor Base with light Pen x2
RF Generator Rack x1 (ENI OEM-12B3-03)
(4) Nabtesco Dry Pump (EV4002)
(2) Toyota Dry Pump (EC100L)
(2) Dikin Chiller (UBRP2AMPE )
SMC Chiller (INR-498-012D-X012)
Showa Denko Scrubber
Chamber Configuration:
Load Lock Chamber A
Load Lock Chamber B
Transfer Chamber
Chm Position A: Centura WxP Chamber
Chm Position B: Centura WxP Chamber
Chm Position C: Centura WxP Chamber
Chm Position D: Centura WxP Chamber
Chm Position E: Empty
Chm Position F: Orienter Chamber
De-installed and crated
1997 vintage.
APPLIED MATERIALTS Centura 5200は、ユーザーに幅広い利点をもたらす高度なトランジスタレベルのプラズマエッチング機器です。このデバイスは、超近代半導体チップおよび部品の製造、パッケージング、およびテストに特化したツールです。それは信頼性が高く、効率的で、費用対効果の高いエッチングソリューションです。Centura 5200は、強力なシングルウェーハ誘導結合プラズマソースを備えています。高温で極めて大量のイオン化ヒドロニウムイオンを生成することができ、5ナノ秒の高エッチングが可能です。このプロセスは、シリコンの表面を酸化して小さな溝やトンネルを作るために、高周波電力と反応材料、通常はガスを使用します。APPLIED MATERIALS Centura 5200は、業界標準のマルチビューデザイン(MVD)に準拠しており、ユーザーに比類のない精度と精度を提供します。また、基板の視認性を向上させるパラレルセンサ技術を採用しており、プロセスの歩留まりを制限する脆弱性を迅速に検出できます。Centura 5200は完全に自動化されたエッチングシステムです。製品汚染のリスクを最小限に抑えるために、ユニットの設計と構造が調整されています。高度なシリコーンウェブクリーニングマシンや自動エンドエフェクターのロードとアンロードなどの機能により、ユーザーは高品質で汚染のない製品を保証するために手動での介入を最小限に抑える必要があります。応用材料Centura 5200は優れた信頼性のために設計されています。高精度のPFI (Portable Film Implant)ツールにより、蒸発した材料が一貫して均一に分布し、プロセス制御と歩留まりの最適化を促進します。さらに、イオンゲートを内蔵することで、プロセスの柔軟性を迅速かつ容易に向上させることができます。Centura 5200は、ユーザーに比類のない利点をもたらすフル機能のエッチング資産です。このデバイスは、既存の生産ラインに簡単に統合され、効率的で費用対効果の高いエッチングソリューションを提供します。その信頼性と正確な設計、高度なオートメーション、優れたプロセス制御により、今日の市場で最高のエッチングソリューションの1つです。
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