中古 AMAT Centura High-K #293616807 を販売中

AMAT Centura High-Kは、300mmウェーハ製造用に特別に設計された原子炉装置です。ポストインプラント清浄ステップを実行するためにエッチングガスを送ることができる反応チャンバーの一種です。このシステムは、ウェーハ表面に収まる前に素早く粒子を取り除く高速な流れを提供することで、粒子を最小限に抑えるように設計されています。Centura High-Kの特長は、デュアルゾーン、並列流出注入ユニット、音響フォーカシング、化学分解、熱管理およびプロセス制御プログラム、および効率的な熱回収システムです。デュアルゾーンマシンにより、反応室に反応ガスを高精度かつ高速に注入することができます。これにより、プロセスを完了するのに必要な時間と、ウェーハを汚染できる粒子の数が削減されます。アコースティックフォーカシングもAMAT Centura High-Kの重要な特徴です。この技術は、音波を使用して、反応チャンバーを終了した後に素早く放散する極めて集中したエッチングガスのチャネルを作成します。これは反応室の外にガスがほとんどないため、汚染の可能性を大幅に低減するという利点があります。Centura High-Kには、高水準のクリーンルーム規制を確実に満たすための化学的切除オプションもあります。このツールは、一連のフィルターと吸収材を使用して、反応チャンバーからの有害な化学物質の放出をトラップし、きれいにします。さらに、熱管理と制御機能を備えており、再現可能な結果を正確に温度制御することができます。最後に、AMAT Centura High-Kには効率的な熱回収システムが付属しており、プロセスからエネルギーを回収して運用コストを削減します。これにより、機器の性能が向上し、環境への潜在的な影響が軽減されます。全体的に、Centura High-Kは300mmウェーハ製造のための優れた信頼性の高い原子炉アセットです。音響フォーカシング、化学物質分解、熱管理、制御機能、効率的な熱回収システムなど、多くの高度な機能を提供しています。これらの機能はすべて、優れたプロセス体験を提供し、ウェーハの汚染を最小限に抑えます。