中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Enduraは、さまざまな基板上に薄膜材料を均一に堆積させることを可能にする、特別に設計された原子炉です。この装置は、蒸着の均一性を最大限に高め、汚染を最小限に抑え、薄膜蒸着プロセスに経済的なソリューションを提供するように設計されています。LoadlockはEndura薄膜成膜システムの重要なコンポーネントであり、成膜チャンバーへの基板の効率的な積み込み、アライメント、および搬送を可能にします。ワイドボディロードロックには2つのロードポートと2つの避難/パージポートがあり、どちらもプロセス環境を維持するためにOリング密閉ベントでタップされています。ロードロックチャンバーの底部をユニット下部に取り付け、基板搬送用のリフトプレートを備えています。加熱されたゲートバルブは、基板搬送時のプロセスチャンバーの汚染を防ぎます。ロードロックには、プロセスの中断を最小限に抑えるために断続的な開閉が可能な2ピースの石英蓋が装備されています。蓋を開けると真空機構が機能し、基板がプロセスを中断することなくチャンバーに入ることができます。ロードロックチャンバーは、混合前の非反応性窒素/アルゴンベースの大気に囲まれており、汚染を防ぎます。二重ガス混合物を使用すると、窒素またはアルゴンラインをパージする必要がなくなり、メンテナンスコストが削減されます。ロードロックチャンバーの内部には、耐久性のあるRF電源、ルビークォーツウィンドウ、ラフカット拡散バッフルがコーティングされており、均一な薄膜蒸着が保証されています。ワイドボディロードロックは、エンデュラ薄膜成膜機のために特別に設計されており、大きなもの（300 x 300 mm）から小さなもの（数ミクロン程度）まで、多種多様な基板を容易に取り扱うことができます。エンデュラ用AMAT Widebody loadlockは、薄膜成膜機能に加えて、プロセスチャンバーへのプロセスと成膜副産物の入力を最小限に抑えるために使用される排気スタックも装備されています。この排気スタックは、安全でクリーンなプロセス環境を維持するだけでなく、一貫した薄膜蒸着に最適なプロセス均一性を確保するのに役立ちます。このツールには、アセットに余分な保護を追加し、効率的で安全な基板転送を可能にするティアドロップ型の蓋も含まれています。アプライドマテリアルズEnduraのWidebodyロードロックは、効率と均一性を念頭に設計された信頼性の高い堅牢なモデルです。この装置は、汚染を最小限に抑え、薄膜の均一な蒸着を最大限に高めるとともに、薄膜蒸着プロセスに経済的なソリューションを提供するように設計されています。最先端の技術と耐久性を備えたWidebody loadlock for Enduraは、薄膜成膜ニーズに最適です。