中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Wafer orienter chamber for P5000 #9269013 を販売中

AMAT P5000 ウェーハOrienterチャンバーは、より高い精度と制御で高度な材料のより高い収率を可能にする革新的な原子炉です。このP5000は、複数のウエハ基板の成膜、エッチング、洗浄など、さまざまなプロセス用に設計されています。このマシンは、自動化されたプロセスコントローラ、アップグレードされた安全システム、高精度のアラインメント、および強化された真空機能を備えた最新世代のハードウェアを利用しています。P5000 ウェーハOrienterチャンバーは、独自の大規模な生産能力を提供します。これにより、最大12インチのウェーハを製造でき、最大5つの基板を同時に処理できます。各ウェーハを配置し、高度なデジタル光学サブシステムを使用してウェーハの正確な位置を正確に決定し、調整することができます。これにより、プロセス中のウェーハの正確かつ再現性の高いアライメントが保証され、より高い歩留まり材料の生産に不可欠です。ウエハオリエンターは、酸化物、窒化物、薄膜、およびその他の高性能材料などの様々な先端材料の堆積を可能にするように構成することができます。高感度の水晶モニターとマスフローコントローラを採用し、蒸着プロセス全体を正確に制御します。これにより、オペレータは配送ガスの分布と温度を正確に管理することができ、材料の正確な堆積とウェーハ全体の均一性が得られます。P5000はまた、ガスや真空圧力、原子炉内の酸素レベル、チャンバー内の温度範囲などの安全パラメータを監視することにより、比類のない安全システムを提供しています。また、プロセスガスがプロセスチャンバーやその他の領域に入るのを防ぐ不活性ガスロックアウトなどの追加の保護のための外部ハードウェアが装備されています。P5000 ウェーハOrienterチャンバーは、最新のハードウェア技術と実績のある材料製造技術を組み合わせて、最大限の利便性と制御を提供します。それは材料のより大きく、より小さいバッチを効率的かつ正確に処理する必要がある人のための完璧な選択です。