中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9351211 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、半導体やその他の半導体関連基板に使用するために設計された最先端の真空蒸着装置です。このシステムは、従来の技術と比較して、優れたスループット、均一性、および信頼性を提供するように設計されています。フォトリソグラフィ、エッチング、フィルム増殖など、さまざまな用途での使用に適しています。リアクタは、ユニークなウェーハソース設計を備えた高精度のシングルキャビティユニットで、基板全体にわたって高い反復性と均一性を備えた水平ジオメトリを備えています。また、3ビーム光モニタリングツールを搭載しており、マイクロ波エネルギー測定が可能で、ラストマイルの電源障害検出が可能です。AMAT Ultimaリアクターは、標準スパッタ源を使用して物理蒸着（PVD）を行うことができます。反応スパッタリング、蒸発、イオンメッキ、化学蒸着（CVD）などの代替真空プロセスも実行でき、汎用性が向上します。この資産には、高度なプロセス監視機能と、データ分析およびレポート機能の完全なスイートが備わっています。光放射分光法、オーガー電子分光法、X線光電子分光法、電子エネルギー損失分光法など、さまざまなin-situ分光診断が可能です。これにより、堆積中のプロセス制御の前例のないレベルを可能にします。この原子炉はまた、より効率的なマルチラン動作を可能にする高度なプロセスオートメーション機能を提供しています。クイックプロセスの設定と最適化のための自動化されたプロセス最適化機能と、in-situウェーハ特性評価のための組み込み計測ツールが含まれています。高速動作とウエハハンドリングシステムにより、高速で再現性の高いプロセスを実現します。最終的には、APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、チップ製造設備の生産コストの削減と歩留まりの最大化を支援するために設計された、信頼性の高い再現可能なプロセス環境をユーザーに提供します。統合されたプロセス機能、高度なプロセス診断、自動化により、ユーザーは優れたスループット、均一性、信頼性を達成できます。また、最新の半導体アプリケーションのニーズに合わせた幅広い機能を提供します。