中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9315107 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaは、半導体レベルのエッチングおよび材料加工用に設計された高度な反応イオンエッチング（RIE）ツールです。これは、集積回路の製造と開発だけでなく、先端技術や材料加工の他の分野で使用されています。AMAT Ultimaは、高精度の大面積真空クローズドチャンバー上に構築されています。チャンバー内では、安全で清潔で密閉された環境で多くの異なる微細加工プロセスが発生します。このツールを使用して行うことができる多くのプロセスの中には、化学蒸着（CVD）、化学機械平坦化（CMP）、ディープエッチング、メサエッチング、誘電エッチングおよびタングステン化学機械研磨（CMP）があります。製造される製品の種類に応じて、チャンバー内の環境は基板の特定の材料特性に合わせてカスタム設計されています。アプライドマテリアルズUltimaには、従来のRIEシステムにいくつかの利点があります。優れた精度とスピードで、Ultimaは従来のRIEシステムよりも複雑な機能をエッチングするために使用できます。そのチャンバーはより正確であり、より均一な材料を生成します。処理できる温度範囲も大きく、ドライエッチングなどのより積極的なプロセスを使用することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaはまた、いくつかの高度な安全および監視システムを採用しています。人間のオペレータは、装置をチャンバーの外から監視することができ、エッチング工程の制御と監督を強化することができます。チャンバーにはいくつかのセンサーが組み込まれており、チャンバー圧力、基板温度、エッチング速度、プロセスガス組成などのプロセスパラメータを監視しています。AMAT Ultimaは、最新の半導体、MEMS、医療機器アプリケーションで優れた結果を出すことができる、強力で柔軟かつ信頼性の高い反応性イオンエッチングツールです。そのエッチングの種類の広い範囲と材料の様々な処理能力は、他のエッチングツールとは別にそれを設定します。APPLIED MATERIALS Ultimaは、小型、高速、複雑な設計に対する需要の高まりに伴い、優れた結果を生み出しながらコストと時間を削減することを可能にします。