中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314618 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaは、材料の薄い層をさまざまな基板に堆積させるために特別に設計された、洗練された原子層成膜（ALD）原子炉です。AMAT Ultimaは、ウエハー、ナノ粒子、粉末などの基板に超薄層の材料を確実に堆積させることができる、現場評価用の研究開発ツールです。アプライドマテリアルズUltimaは、誘電体、酸化物、窒化物、金属、および新規デバイスの材料など、幅広い薄膜用途に最適化されています。Ultima ALDリアクターは、処理された基板上の前駆体の分子の連続モノレイヤーの吸着に基づいて自己制限表面制御化学の原理を介して動作します。このユニークな原子炉は、制御性の高い真空チャンバ、高精度マスフローコントローラ（MFC）を組み合わせて、正確に前駆体を供給します。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaは、プロセス圧力、ガス流量、温度、反応時間、沈着サイクル数などの反応パラメータを正確に制御することができます。この原子炉の高度な制御機能により、ユーザーは蒸着プロセスを正確に制御できるだけでなく、その場で異なる蒸着プロセスを評価することができます。さらに、その自動反応サイクルは信頼性が高く、繰り返し可能な結果を保証し、システムの簡単かつ効率的な使用を保証します。AMAT Ultimaで採用されているALDプロセスは、非常に原子的に正確です。この精度により、広い領域に均一な層を堆積させることができます。APPLIED MATERIALS Ultimaによって堆積された層はまた、自然界において極めて薄く適合しており、複雑な立体構造を高い再現性と精度で作成することができます。Ultimaは、研究環境と製造環境の両方で薄膜成膜を行うための非常に汎用性の高い貴重なツールです。高いコンフォーマル性を持つ薄膜を幅広い用途に正確かつ確実に堆積させることができるため、ALDプロセスの精度、制御、精度を求めるお客様に最適です。