中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314611 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、業界で最も困難なエッチング要件に取り組むために設計された最先端のプラズマエッチング炉です。この汎用性と強力なツールは、ボードレベルとウェーハレベルの両方の処理に高度な制御、速度、精度を提供します。プラズマエッチングと機器制御の両方に関するAMATの豊富な知識により作成されたAMAT Ultimaは、比類のない精度と再現性で確実に結果を出すことができます。APPLIED MATERIALTS Ultimaは水平モジュラー設計を採用しているため、お客様のニーズに合わせてシステムを構成することができます。この設計のさらなる利点は、モジュラー面のためにメンテナンスコストが大幅に削減されることです。Ultimaは、優れた制御、再現性、信頼性を提供する静電チャック（ESC）を使用して構築されています。このユニットは、4「、6」、8「、および12」基板を含む基板オプションの完全な範囲を提供しています。また、エッチング工程において比類のない制御、均一性、プロセス再現性を提供する最新のRFアンプ技術を搭載しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaには、VCSEL （Vertical Cavity Surface Emitting Laser）や指向性エッチングなどのユニークなウェーハ平面化機能が搭載されています。平面化、プラズマドーピング、ギャップ充填などの高度に統合されたプロセス機能も利用できます。その他の機能として、コスト効率の高いマルチパターニング用の大気プラズマ処理、高分解能リソグラフィ用の高アスペクト比処理、およびコスト効率の高い統合のための柔軟なプロセスチャンバー不安定性などがあります。AMAT Ultimaはまた、統合されたWebベースの制御および監視マシンで高度な制御および監視機能を提供します。このツールを使用すると、プロセスパラメータとウェーハマップを簡単に監視し、すべての重要なプロセスパラメータが理想的な範囲内にとどまることを保証できます。また、ユーザーは世界中のどこからでも簡単にパラメータをリモートで調整することができます。APPLIED MATERIALTS Ultimaは、最先端の技術と機能を備えたプラズマエッチングのすべてのニーズに対応する完璧なツールです。優れた性能、優れた精度と再現性、費用対効果の高い統合、高度な制御機能を提供します。それはあらゆるエッチングの必要性のためのフル機能の、費用効果が大きい解決です。